利用Nd∶KGW激光器,采用光束掃描寬化技術和掩模微縮成像方法研製了用於(yu) 微打標及微型零件雕刻成形的激光掩模微加工係統。係統采用計算機打印的塑料膠片或液晶作掩模,光束掃描麵積為(wei) (有效掩模麵積)30 mm×30 mm。微縮成像係統的縮小倍率分別為(wei) 8~10倍(f=100 mm透鏡)和15~20倍(f=50 mm透鏡)。對該係統的加工尺寸和加工精度進行了分析。實驗結果表明:係統達到的最小標刻寬度和加工圖形精度均為(wei) 10 μm,與(yu) 分析結果一致。係統的單次加工深度為(wei) 007~01 μm,最大加工深度為(wei) 200 μm,可滿足工業(ye) 微加工技術的基本要求。
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