閱讀 | 訂閱
閱讀 | 訂閱
光纖激光器

基於光束掃描寬化技術的激光掩模微加工係統

星之球激光 來源:激光網2012-02-12 我要評論(0 )   

利用Nd∶KGW激光器,采用光束掃描寬化技術和掩模微縮成像方法研製了用於(yu) 微打標及微型零件雕刻成形的激光掩模微加工係統。係統采用計算機打印的塑料膠片或液晶作掩模,光...

利用Nd∶KGW激光器,采用光束掃描寬化技術和掩模微縮成像方法研製了用於(yu) 微打標及微型零件雕刻成形的激光掩模微加工係統。係統采用計算機打印的塑料膠片或液晶作掩模,光束掃描麵積為(wei) (有效掩模麵積)30 mm×30 mm。微縮成像係統的縮小倍率分別為(wei) 8~10倍(f=100 mm透鏡)和15~20倍(f=50 mm透鏡)。對該係統的加工尺寸和加工精度進行了分析。實驗結果表明:係統達到的最小標刻寬度和加工圖形精度均為(wei) 10 μm,與(yu) 分析結果一致。係統的單次加工深度為(wei) 007~01 μm,最大加工深度為(wei) 200 μm,可滿足工業(ye) 微加工技術的基本要求。

轉載請注明出處。

免責聲明

① 凡本網未注明其他出處的作品,版權均屬於(yu) fun88网页下载,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用。獲本網授權使用作品的,應在授權範圍內(nei) 使 用,並注明"來源:fun88网页下载”。違反上述聲明者,本網將追究其相關(guan) 責任。
② 凡本網注明其他來源的作品及圖片,均轉載自其它媒體(ti) ,轉載目的在於(yu) 傳(chuan) 遞更多信息,並不代表本媒讚同其觀點和對其真實性負責,版權歸原作者所有,如有侵權請聯係我們(men) 刪除。
③ 任何單位或個(ge) 人認為(wei) 本網內(nei) 容可能涉嫌侵犯其合法權益,請及時向本網提出書(shu) 麵權利通知,並提供身份證明、權屬證明、具體(ti) 鏈接(URL)及詳細侵權情況證明。本網在收到上述法律文件後,將會(hui) 依法盡快移除相關(guan) 涉嫌侵權的內(nei) 容。

網友點評
0相關評論
精彩導讀