相幹公司推出新型準分子激光退火（ELA）係統VYPER，實現用於(yu) 下一代平板顯示器的低溫多晶矽（LTPS）的量產(chan) 。LTPS是用於(yu) 智能手機和平板電腦的輕型節能液晶顯示器（LCD）和有機發光二極管（OLED）顯示器的關(guan) 鍵部件。

　　新型千瓦級VYPER準分子激光器與(yu) 改進的線光束光學係統相結合，提供可升級的平台，使LTPS顯示器製造商能夠從(cong) 目前的第四代麵板無縫轉向第六代，顯著提高產(chan) 量。而且，VYPER的先進設計和能力支持直至第八代的設計，從(cong) 而使製造商也能滿足未來嚴(yan) 格的成本目標。

　　“目前大多數移動顯示器使用相幹公司的準分子激光器和線光束光學係統製造。”相幹公司副總裁Richard Waldermann說。“隨著準分子激光器輸出功率和線光束長度的提高，我們(men) 看到VYPER係統得到廣泛采用，實現了直至第八代大尺寸麵板的低成本高效的生產(chan) 。我們(men) 期望基於(yu) LTPS技術的相幹公司ELA係統繼續成為(wei) 快速增長的高分辨率顯示器市場的首選。”
 

圖 相幹公司新型準分子激光退火（ELA）係統VYPER