點擊圖片查看原圖
產(chan) 品特點
l Ÿ 直線軸行程200mm*200mm*150mm (XYZ)
l Ÿ 旋轉軸行程±90°*360°（AB軸）
l Ÿ XYZ交叉滾柱導軌，納米級定位紋波
l Ÿ AB軸氣浮轉台，亞(ya) 微米跳動誤差
l Ÿ 優(you) 化線纜管理係統
l Ÿ 結構、行程可定製
應用領域
RBN-200XY-150Z-AB五軸精密運動台用於(yu) 曲麵飛秒激光加工。
產(chan) 品簡介
XY軸采用防蠕動十字交叉滾柱導軌導向，直線電機驅動及光柵尺閉環反饋，XY軸平麵式結構，最大限度降低高度，減小係統誤差影響；此外XY軸可定製抱閘功能，抱閘位置漂移可控製在10nm內(nei) 。
Z軸直驅力矩電機驅動，交叉滾柱導軌導向及光柵尺閉環反饋，獲得納米級定位紋波；
AB軸氣浮軸承、力矩電機驅動及光柵尺閉環反饋，閉式氣浮結構，對結構進行優(you) 化設計，氣浮軸承表麵和創新的預壓高剛度，側(ce) 向放置承載能力大，解決(jue) 氣浮抱死的問題。優(you) 秀的軸向跳動誤差、徑向跳動誤差和傾(qing) 角誤差，使AB軸正交2~10arc sec，軸向線重合度2~10μm。
大理石機體(ti) 因強度大、硬度高、不生鏽、耐腐蝕性、耐磨性及穩定性好，應用於(yu) 運動台上質量可靠，品質有保障。大理石做模態分析，優(you) 化結構尺寸，可依據客戶的要求做最終設計。
規格指標
軸係 | 測試項目 | 單位 | 指標要求 | 實測指標 |
X 軸 | 行程 | mm | 200 | 200 |
補償(chang) 後定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.07 | |
雙向重複定位精度 | μm | ±0.15 | ±0.05 | |
直線度 | μm | ±1.5 | ±1.1 | |
平麵度 | μm | ±2 | ±0.45 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 100 | |
Y 軸 | 行程 | mm | 200 | 200 |
補償(chang) 後定位精度 | μm | ±0.75 | ±0.15 | |
雙向重複定位精度 | μm | ±0.25 | ±0.04 | |
直線度 | μm | ±1.5 | ±1.2 | |
平麵度 | μm | ±4 | ±0.9 | |
工作速度 | mm/s | 100 | 100 | |
A 軸 | 行程 | ° | ±90 | ±90 |
補償(chang) 後定位精度 | arc sec | ±2 | ±0.4 | |
雙向重複定位精度 | arc sec | ±1 | ±0.15 | |
軸向跳動誤差 | μm | 0.5 | 0.2 | |
徑向跳動誤差 | μm | 0.5 | 0.3 | |
工作速度 | °/s | 40 | 40 | |
B 軸 | 行程 | ° | 360 | 360 |
補償(chang) 後定位精度 | arc sec | ±2 | ±0.4 | |
雙向重複定位精度 | arc sec | ±1 | ±0.2 | |
軸向跳動誤差 | μm | 0.5 | 0.1 | |
徑向跳動誤差 | μm | 0.5 | 0.3 | |
工作速度 | °/s | 40 | 40 | |
Z 軸 | 行程 | mm | 150 | 150 |
補償(chang) 後定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.4 | |
雙向重複定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.06 | |
直線度 | μm | ±1 | ±0.05 | |
平麵度 | μm | ±1 | ±0.35 | |
工作速度 | mm/s | 50 | 50 | |
XYAB | 負載 | kg | 1 | 1 |
Z | 負載 | kg | 20 | 20 |