點擊圖片查看原圖德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型號 P-541.ZCD
公司介紹：
北京漢達森機械技術有限公司是一家從(cong) 事歐洲工業(ye) 產(chan) 品進口貿易的公司。主要產(chan) 品有工業(ye) 自動化設備、機電設備、液壓設備、電氣設備和零部件等產(chan) 品。公司總部於(yu) 2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為(wei) 國內(nei) 一些貿易商，設備商及終端客戶提供產(chan) 品代購服務。
應用領域：
掃描顯微鏡
超分辨率顯微鏡
生物技術
掩模/晶圓定位
樣本定位
幹涉測量
計量
產(chan) 品參數：
型號：P-541.ZCD
主動軸：Z
集成傳(chuan) 感器：電容式
-20至120伏時Z向上的開環行程：150微米
θX、θY向上-20至120伏時的開環偏擺角：–毫弧度
Z向上的閉環行程：100微米
θX、θY向上的閉環偏擺角：–毫弧度
Z向上的分辨率，開環：0.2納米
θX、θY向上的開環分辨率：–微弧度
Z向上的閉環分辨率：0.5納米
θX、θY向上的閉環分辨率：–微弧度
Z、θX、θY向上的線性誤差：0.03%
Z向上的重複精度：<2納米
θX、θY向上的重複精度：–微弧度
θX、θY向上的串擾（Z向運動）：±15微弧度