在航空器的研製、試驗、生產(chan) 過程中，運用到大量的精密直線位移傳(chuan) 感器，激光幹涉儀(yi) 可以對這些傳(chuan) 感器進行精準的檢測
中圖儀(yi) 器推出的SJ6000激光幹涉儀(yi) ，采用進口高穩頻氦氖激光器、雙縱模熱穩頻技術、多參數環境補償(chang) 技術、高速數字信號處理係統等技術，通過與(yu) 不同的光學組件結合，實現對直線度、垂直度、角度、平麵度、平行度等多種幾何精度的測量。是校準數字機床、坐標測量機及其它定位裝置精度及線性指標最常用的標準儀(yi) 器。
1、在數控機床檢定中的應用
SJ6000激光幹涉儀(yi) 可用於(yu) 精密機床定位精度、重複定位精度、微量位移精度的測量，為(wei) 機床誤差修正提供依據。軟件內(nei) 置10項常用機床檢驗標準。使用激光幹涉儀(yi) 檢測機床各項誤差並進行修正是傳(chuan) 統測量手段難以實現的技術，是大幅度提高數控機床的加工精度的關(guan) 鍵措施。
數控機床軸定位精度、重複定位精度的檢測
2、在三坐標檢測中的應用
SJ6000激光幹涉儀(yi) 搭配其鏡組和輔件可檢測三坐標測量機的位移精度、直線度、垂直度。隨著當代製造業(ye) 對加工速度的要求提升，三坐標測量機各結構件由於(yu) 高速運行產(chan) 生機構變形，導致的動態誤差不可忽略。使用激光幹涉儀(yi) 對三坐標測量機進行靜態誤差、動態誤差測量和補償(chang) ，對提升測量精度具有重要意義(yi) 。
三坐標線性精度、垂直度的檢測
3、在位移傳(chuan) 感器中的應用
利用激光幹涉儀(yi) 對位移傳(chuan) 感器檢定成為(wei) 發展趨勢，其特點是反應速度快、測量精度高，是位移傳(chuan) 感器實現高精度校準的重要手段。
傳(chuan) 感器線性精度的測量
4、與(yu) 其他鏡組配合的應用
SJ6000激光幹涉儀(yi) 與(yu) 不同光學組件結合，可以實現距離、角度、直線度、垂直度、平行度、平麵度等參數的測量，具有極高的精度和效率。
測長機線性精度、垂直度的測量
SJ6000激光幹涉儀(yi) 技術參數：
技術線性測長精度：±0.5ppm(0~40℃)
激光穩頻精度：0.05ppm
分辨率：0.001um