1604年開普勒（J．Kepler）寫(xie) 出光學著作，指出光的強度和到達光源距離的平方成反比。並於(yu) 1611年出版《折射光學》。
1801年托馬斯•楊（Thomas Young）用雙狹縫實驗演示了光的幹涉現象，即著名的楊氏雙縫實驗。
1881年邁克爾遜（Albert．A．Michelson）設計了著名的實驗來測量“以太”漂移。當然沒測到漂移，由此導致“以太”說的破滅和相對論的誕生。它首次用於(yu) 幹涉儀(yi) ，以鎘紅譜線與(yu) 國際米原器作對比。正是由於(yu) 他的工作導致後來用光的波長定義(yi) “米”。由於(yu) 他在精密光學儀(yi) 器、光譜和計量領域的研究工作於(yu) 1907年獲得諾貝爾獎。
1960年Maiman研製成功第一台紅寶石激光器，從(cong) 此開始了光學技術飛速發展的新時代。從(cong) 此，激光幹涉測量被廣泛地用於(yu) 長度、角度、微觀形貌、轉速、光譜等領域，並和微電子技術、計算機技術集成，成為(wei) 現代幹涉儀(yi) 。
1982年G．Binning和H．Rohrer研製成功掃描隧道顯微鏡，1986年發明原子力顯微鏡，1986年獲得諾貝爾獎。從(cong) 此開始了幹涉儀(yi) 向納米、亞(ya) 納米分辨率和精度前進的新時代。
由於(yu) 激光具有極好的時間相幹性，自問世以來，已研製出多種激光幹涉儀(yi) ：單頻激光幹涉儀(yi) 、雙頻激光幹涉儀(yi) 、半導體(ti) 激光幹涉儀(yi) 、法布裏-珀羅（F-P）幹涉儀(yi) 、X射線幹涉儀(yi) 等。
激光幹涉儀(yi) 是激光在計量領域中最成功的應用之一。利用光的幹涉實現測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經在各個(ge) 不同領域得到廣泛的應用。
中圖儀(yi) 器近期推出的 采用進口高穩頻氦氖激光器、雙縱模熱穩頻技術、多參數環境補償(chang) 技術、高速數字信號處理係統等技術，通過與(yu) 不同的光學組件結合，實現對線性、角度、直線度、垂直度、平麵度等幾何量的檢測。線性測長精度：±0.5ppm，激光穩頻精度：0.05ppm。