德國PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型號 P-733.3DD

公司介紹：

北京漢達森機械技術有限公司是一家從(cong) 事歐洲工業(ye) 產(chan) 品進口貿易的公司。主要產(chan) 品有工業(ye) 自動化設備、機電設備、液壓設備、電氣設備和零部件等產(chan) 品。公司總部於(yu) 2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為(wei) 國內(nei) 一些貿易商，設備商及終端客戶提供產(chan) 品代購服務。

應用領域：

掃描顯微鏡

共聚焦顯微鏡

掩模/晶圓定位

表麵測量技術

納米壓印

顯微操縱

圖像處理/穩定

高運動平麵度和直線度的納米定位

型號：P-733.3DD

主動軸：X、Y、Z

集成傳(chuan) 感器：電容式

-20至120伏時的開環行程：33微米×33微米×14微米

行程，閉環：30微米×30微米×10微米

分辨率，開環：0.1納米

分辨率，閉環：0.1納米

線性誤差（X、Y）：0.03%

線性誤差（Z）：0.03%

重複精度（X、Y）：<2納米

重複精度（Z）：<1納米

螺距（X、Y）：<±5微弧度

偏轉角（X、Y）：<±10微弧度

Z向運動時的傾(qing) 斜：<±5微弧度

剛度：4（Z向上為(wei) 10）牛/微米

諧振頻率，空載：1200（Z向上為(wei) 1100）赫茲(zi)

帶120克負載時的諧振頻率：–赫茲(zi)

帶200克負載時的諧振頻率：530（Z向上為(wei) 635）赫茲(zi)

運動方向上的推/拉力：50/20牛