QFU係列單軸氣浮運動台_激光應用_激光應用的範圍_fun88手机登录官方网站

產(chan) 品特點

l Ÿ 非接觸閉式氣浮結構 Ÿ 行程100~1000mm可選

l Ÿ 亞(ya) 微米級重複定位精度 Ÿ 全行程直線度優(you) 於(yu) 1μm

Ÿ 高柔線纜管理 Ÿ 可定製化設計

應用領域

QFU係列是一款大行程氣浮運動台，閉式氣浮結構，常規最大行程1米，直線度優(you) 於(yu) 1μm，用於(yu) 精密加工、測試測量、掃描、半導體(ti) 及光子學等行業(ye) 。

結構特點

QFU係列主要采用氣浮導軌、直線電機和光柵尺組成，閉式氣浮結構，氣浮導軌四麵均勻受力，相較於(yu) 開式氣浮結構，側(ce) 向氣浮剛度更大，承載能力更強，模態更高，係統帶寬更大，相位裕度和幅值裕度餘(yu) 量更大，對於(yu) 大體(ti) 積、大負載及偏心安裝等負載形式，更能突顯其性能優(you) 勢。

精度性能

氣浮導軌基於(yu) 氣體(ti) 靜壓效應，實現無摩擦和無振動地平滑移動，與(yu) 摩擦式導軌相比，氣浮運動台的直線度、平麵度可達亞(ya) 微米，Pitch Yaw指標可達1角秒內(nei) ，由於(yu) 非接觸式，係統跟隨誤差有了質地提升，定位精度和重複精度得到了顯著提高，行程100~1000mm可選。

線纜管理

使用高質量、高柔性的屏蔽線纜，管線彎曲半徑更小，能夠防止電子信號的幹擾，同時防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮運動台的性能。

定製化

可定製陶瓷材質氣浮導軌，1米行程直線度可優(you) 於(yu) ±0.5μm，更大行程也可接受定製。

規格指標

型號	單位	QFU-100	QFU-200	QFU-300	QFU-400	QFU-500
行程	mm	100	200	300	400	500
補償(chang) 後定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2
標準值	±0.2	±0.2	±0.3	±0.4	±0.4
雙向重複定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.05	±0.075	±0.075	±0.1	±0.1
標準值	±0.1	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15
直線度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.05	±0.1	±0.15	±0.4	±0.4
標準值	±0.2	±0.4	±0.5	±0.5	±0.5
平麵度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1	±0.2	±0.4	±0.5	±0.5
標準值	±0.2	±0.4	±0.75	±0.75	±0.75
Pitch Roll Yaw ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±0.25	±0.4	±0.75	±0.8	±1
標準值	±0.5	±1	±1.5	±2	±2.5
電子分辨率 ⁽³⁾	nm	0.3 或 5（選配）
最大速度 (空載) ⁽⁴⁾	m/s	1
最大加速度 (空載) ⁽⁴⁾	m/s²	5,（10, 20 定製）
最大負載	kg	20
供氣壓力 ⁽⁵⁾	MPa	0.5±0.05

型號	單位	QFU-600	QFU-700	QFU-800	QFU-900	QFU-1000
行程	mm	600	700	800	900	1000
補償(chang) 後定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.3	±0.3	±0.5	±0.5	±0.5
標準值	±0.5	±0.5	±1	±1	±1
雙向重複定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2	±0.2
標準值	±0.2	±0.2	±0.3	±0.3	±0.3
直線度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.45	±0.45	±0.45	±0.5	±0.5
標準值	±0.75	±0.75	±0.75	±1	±1.5
平麵度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.5	±0.65	±0.7	±1	±1
標準值	±1	±1	±1.5	±2	±2
Pitch Roll Yaw ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±1	±1	±1	±1.5	±2
標準值	±3	±3	±4	±4.5	±5
電子分辨率 ⁽³⁾	nm	0.3 或 5（選配）
最大速度 (空載) ⁽⁴⁾	m/s	1
最大加速度 (空載) ⁽⁴⁾	m/s²	5,（10, 20 定製）
最大負載	kg	20
供氣壓力 ⁽⁵⁾	MPa	0.5±0.05

注：

以上為(wei) 單軸精度指標，在潔淨間內(nei) 測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光幹涉儀(yi) 測量及自帶分析方法，多軸係統的精度測試與(yu) 負載尺寸及測試點高度有關(guan) ，環境的變化會(hui) 導致精度變化，如要求非標準測試，請谘詢我們(men) 。

1. Plus值為(wei) 高精度指標，是標準值的升級版。

2. 取決(jue) 於(yu) 平台安裝表麵的平麵度。

3. 電子分辨率取決(jue) 光柵尺及控製器的細分倍數。

4. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決(jue) 於(yu) 負載大小。

5. 為(wei) 保護氣浮導軌建議加裝壓力保護開關(guan) 。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。

訂購信息

型號	QFU	-300	-PLUS	-AL	-N	-1	-0	-C1	-3	-Y	-Y
描述	閉式氣浮運動台	行程300mm	PLUS高精度版	鋁合金氣浮導軌	默認	增量式光柵1Vpp反饋	零點在行程中心位置	高柔排線	線纜長度3米	有大理石基座	有壓力保護開關(guan)