產(chan) 品特點
Ÿ XY軸非接觸式氣浮結構 Ÿ Z軸平升直驅結構
l Ÿ 結構緊湊、精度高 Ÿ 亞(ya) 微米級重複定位精度
Ÿ XY直線度±50nm Ÿ Z直線度1μm內(nei)
Ÿ 根據需求可定製 Ÿ 高柔線纜管理係統
應用領域
QFL-XY-SG係列是一款結構緊湊的三軸精密運動台，亞(ya) 微米精度用於(yu) 飛秒激光加工、測試測量、高精度掃描、半導體(ti) 及光子學等行業(ye) 。
結構特點
XY軸為(wei) 非接觸式氣浮結構，精度高和外形尺寸小等特點，氣浮導軌間沒有機械接觸，免維護運行。Z軸為(wei) 平升直驅結構，承載能力大，抗蠕變交叉滾柱導軌垂直導向，提升直線度性能，可選雙閉環反饋的方式，獲得高重複定位精度和定位精度。
精度性能
XY軸氣浮運動台的定位精度±0.1μm，雙向重複定位精度±50nm，直線度±0.05μm，平麵度±0.1μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，平升Z軸的定位精度±0.1μm，雙向重複定位精度±50nm，直線度±0.5μm。
線纜管理
使用高質量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產(chan) 生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動台的性能。此外，可定製帶屏蔽高柔線纜，適合環境噪聲大的場合。
定製化
XY軸可定製陶瓷材質氣浮導軌，直線度可達±50nm。
規格指標
型號 | 單位 | QFL-50-50-20SG | QFL-100-100-35SG | ||||
軸係 | — | X | Y | Z | X | Y | Z |
行程 | mm | 50 | 50 | 20 | 100 | 100 | 35 |
補償(chang) 後定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | |
標準值 | ±0.2 | ±1 | ±0.2 | ±1 | |||
雙向重複定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | ±0.075 | |
標準值 | ±0.1 | ±0.5 | ±0.1 | ±0.25 | |||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.5 | ±0.05 | ±0.5 | |
標準值 | ±0.25 | ±3 | ±0.25 | ±4 | |||
平麵度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | — | ±0.1 | — | |
標準值 | ±0.35 | — | ±0.4 | — | |||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.35 | ±2 | ±0.4 | ±2 | |
標準值 | ±1 | ±5 | ±1 | ±5 | |||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | |||||
最大速度 (空載) (4) | mm/s | 100 | 10 | 100 | 10 | ||
最大負載 | kg | 10 |
注：
以上為(wei) 單軸精度指標，在潔淨間內(nei) 測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光幹涉儀(yi) 測量及自帶分析方法，多軸係統精度測試與(yu) 負載尺寸及測試點高度有關(guan) ，環境的變化會(hui) 導致精度變化，如要求非標準測試，請谘詢我們(men) 。
1. Plus值為(wei) 高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決(jue) 於(yu) 平台安裝表麵的平麵度。
3. 電子分辨率取決(jue) 光柵尺及控製器的細分倍數。
4. 空載條件下指標，最大速度取決(jue) 於(yu) 負載大小。
