QFU-A係列雙軸氣浮運動台_激光應用_激光應用的範圍_fun88手机登录官方网站

產(chan) 品特點

l Ÿ 非接觸閉式氣浮結構 Ÿ 光柵尺閉環反饋

l Ÿ 亞(ya) 微米級重複定位精度 Ÿ 直線度平麵度優(you) 於(yu) 1μm

Ÿ 優(you) 化線纜管理 Ÿ 可定製化設計

應用領域

QFU-A係列是一款閉式氣浮導軌的雙軸氣浮運動台，十字疊層結構用於(yu) 超精密加工、測試測量、高精度掃描、半導體(ti) 及光子學等行業(ye) 。

結構特點

雙軸氣浮運動台采用氧化鋁氣浮導軌、直線電機和光柵尺組成，十字疊層結構，底軸為(wei) 三氣浮導軌結構，上軸的運動行程尺寸在底軸寬度範圍內(nei) ，防止上軸出現懸空下塌，改善疊層後上軸的精度性能。氣浮運動台為(wei) 非接觸式，隨著時間地推移，不會(hui) 出現磨損或性能下降。陶瓷材料彈性模量大、比剛度大，可有效提高係統剛性和帶寬，增加控製係統的相位裕度和幅值裕度。

精度性能

雙軸氣浮運動台的定位精度±0.2μm，重複定位精度±0.1μm，直線度±0.3μm，平麵度±0.5μm，Pitch Roll±2arc sec，Yaw±0.8arc sec。

線纜管理

精心優(you) 化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮運動台的性能，使用高質量的線纜，以確保無故障操作。

定製化

可定製陶瓷材質氣浮導軌，重複定位精度±15nm。行程可接受定製。

規格指標

型號	單位	QFU-A-200-200	QFU-A-300-300	QFU-A-400-400
軸係	—	X	Y	X	Y	X	Y
行程	mm	200	200	300	300	400	400
補償(chang) 後定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.15	±0.15	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2
標準值	±0.2	±0.2	±0.3	±0.3	±0.4	±0.4
雙向重複定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.075	±0.075	±0.075	±0.075	±0.1	±0.1
標準值	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15	±0.2	±0.2
直線度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1	±0.1	±0.15	±0.15	±0.3	±0.3
標準值	±0.4	±0.4	±0.75	±0.75	±1	±1
平麵度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.2	±0.2	±0.4	±0.4	±0.5	±0.5
標準值	±0.4	±0.4	±0.75	±0.75	±1	±1
Yaw ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±0.4	±0.4	±0.75	±0.75	±0.8	±0.8
標準值	±1	±1	±1.5	±1.5	±2	±2
Pitch Roll ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±0.5	±1	±1	±1.5	±1.5	±2
標準值	±1	±2	±2	±3	±3	±3.5
電子分辨率 ⁽³⁾	nm	0.3 或 5（選配）
最大速度 (空載) ⁽⁴⁾	m/s	1
最大加速度 (空載) ⁽⁴⁾	m/s²	5,（10, 20 定製）
最大負載	kg	20
供氣壓力 ⁽⁵⁾	MPa	0.5±0.05

注：

以上為(wei) 單軸精度指標，在潔淨間內(nei) 測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光幹涉儀(yi) 測量及自帶分析方法，多軸係統精度測試與(yu) 負載尺寸及測試點高度有關(guan) ，環境的變化會(hui) 導致精度變化，如要求非標準測試，請谘詢我們(men) 。

1. Plus值為(wei) 高精度指標，是標準值的升級版。

2. 取決(jue) 於(yu) 平台安裝表麵的平麵度。

3. 電子分辨率取決(jue) 光柵尺及控製器的細分倍數。

4. 空載條件下指標，最大速度和加速度取決(jue) 於(yu) 負載大小。

5. 為(wei) 保護氣浮導軌不受壓力影響，建議加裝壓力保護開關(guan) 。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。