產(chan) 品特點
l Ÿ 非接觸式直驅結構 Ÿ 麵式十字疊層結構
Ÿ 抗蠕動交叉滾柱導軌 Ÿ 高動態性能，高精度
Ÿ 百納米級定位精度 Ÿ 結構可接受定製
應用領域
RBLBAC係列是一款百納米級精度的雙軸精密運動台，具有納米級微動步距，百納米級定位精度，高動態性能，結構緊湊，用於(yu) 晶圓加工及檢測、激光微加工、測試測量及光學檢測等領域。
結構特點
每軸采用雙直線電機驅動，推力大，高動態性能，在低速運行時保持平穩，在高速狀態不會(hui) 產(chan) 生振動。抗蠕動交叉滾柱直線導軌導向，線線接觸，運動平穩，交叉排列，多方向受力穩定。平麵式疊層式結構緊湊，降低XY軸高度，提升整體(ti) 精度性能。
精度性能
雙軸精密運動台的定位精度±0.3μm，高重複定位精度±75nm，直線度±0.75μm，是高精度場所的理想選擇。
精密控製
配合高性能的控製和驅動器，可提供優(you) 異的伺服性能、先進的控製算法，從(cong) 而提高動態性能，控製器有誤差補償(chang) 功能。
定製化
定製斷電抱閘功能，抱閘後位置相比抱閘前位置漂移誤差10nm內(nei) ；定製用於(yu) 真空環境下的版本，真空度到10^-7Torr；定製最大加速度；可配置大理石基座、支撐鋼架、隔振器等整套運動控製方案。
規格指標
型號 | 單位 | RBLBAC-100XY | RBLBAC-200XY | RBLBAC-300XY | |
行程 | mm | 100 x 100 | 200 x 200 | 300 x 300 | |
補償(chang) 後定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.3 |
標準值 | ±0.4 | ±0.5 | ±0.75 | ||
雙向重複定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 |
標準值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | ||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.4 | ±0.5 | ±0.75 |
標準值 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ||
平麵度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.75 | ±1 | ±1.5 |
標準值 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ||
Pitch Roll (2) | Plus (1) | arc sec | ±3 | ±4 | ±5 |
標準值 | ±6 | ±7.5 | ±9 | ||
Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±1.5 | ±2 | ±2.5 |
標準值 | ±3 | ±4 | ±5 | ||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | |||
最大速度 (空載) (4) | mm/s | 300 | |||
最大加速度 (空載) (4) | m/s² | 2,（5, 10 定製） | |||
最大負載 | kg | 20 | 40 | 50 |
注：
以上為(wei) 單軸精度指標，在潔淨間內(nei) 測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-E，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光幹涉儀(yi) 測量及自帶分析方法，多軸係統的精度測試與(yu) 負載尺寸及測試點高度有關(guan) ，環境的變化會(hui) 導致精度變化，如要求非標準測試，請谘詢我們(men) 。
1. Plus值為(wei) 高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決(jue) 於(yu) 平台安裝表麵的平麵度。
3. 電子分辨率取決(jue) 光柵尺及控製器的細分倍數。
4. 空載條件下的精度指標，最大速度和加速度取決(jue) 於(yu) 負載大小。
