產(chan) 品特點
Ÿ 疊層式布局 Ÿ 納米級微動步距
Ÿ 緊湊型中空結構 Ÿ 高動態性能，高精度
Ÿ 雙直驅電機驅動 Ÿ 集成式線纜管理
應用領域
RBZK係列是帶中空結構的精密運動台，大尺寸通孔、高動態性能滿足晶圓檢測應用，同時適用於(yu) CCD成像、LED封裝檢測等其它高端製造等行業(ye) 。
設計特點
RBZK係列雙軸中空精密運動台，疊層緊湊的中空外形結構，工作點位置降低，光柵反饋位置接近工作表麵，在晶圓檢測中至關(guan) 重要。高精度滾柱導軌和精密研磨的加工表麵，專(zhuan) 業(ye) 的裝配工藝，獲得直線度±1μm，平麵度±2.5μm。
光柵反饋
每軸采用雙光柵尺閉環反饋，安裝位置接近工作表麵，能夠有效地降低係統誤差影響，提升整體(ti) 精度性能。可選電子分辨率0.3nm或5nm。
雙驅結構
每軸用雙直線電機驅動，龍門交叉解耦控製算法，保證雙電機的運行的一致性，提供大推力、速度1m/s和準確的定位，直線電機的溫度控製在室溫，比滾珠絲(si) 杆傳(chuan) 動結構的運動台，性能有了提升。
線纜管理
使用高質量無塵拖鏈，優(you) 化管線彎曲半徑，防止動作過程中影響其性能，同時也適用在潔淨室內(nei) 。
規格指標
型號 | 單位 | RBZK-150XY | RBZK-250XY | RBZK-300XY | |||
軸係 | 軸係 | X | Y | X | Y | X | Y |
行程 | mm | 150 x 150 | 250 x 250 | 300 x300 | |||
補償(chang) 後定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 | ||
標準值 | ±1 | ±1 | ±1 | ||||
雙向重複定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.25 | ±0.25 | ±0.25 | ||
標準值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.7 | ±0.7 | ±1 | ||
標準值 | ±1 | ±1.5 | ±2.5 | ||||
平麵度 (2) | Plus (1) | μm | ±1.25 | ±1.75 | ±2.5 | ||
標準值 | ±1.25 | ±1.75 | ±2.5 | ||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±3 | ±5 | ±5 | ||
標準值 | ±4 | ±6 | ±7 | ||||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | |||||
最大速度 (空載) (4) | m/s | 1 | |||||
最大加速度 (空載) (4) | m/s² | 5,（10, 20 定製） | |||||
最大負載 | kg | 20 | 30 | 50 |
注：
以上為(wei) 單軸精度指標，在潔淨間內(nei) 測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-E，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光幹涉儀(yi) 測量及自帶分析方法，多軸係統的精度測試與(yu) 負載尺寸及測試點高度有關(guan) ，環境的變化會(hui) 導致精度變化，如要求非標準測試，請谘詢我們(men) 。
1. Plus值為(wei) 高精度指標，是標準值的升級版。
2. 取決(jue) 於(yu) 平台安裝表麵的平麵度。
3. 電子分辨率取決(jue) 光柵尺及控製器的細分倍數。
4. 空載條件下的精度指標，最大速度和加速度取決(jue) 於(yu) 負載大小。
