近日，中國科學院上海光學精密機械研究所薄膜光學實驗室通過水浴處理電子束Al2O3薄膜的方法製備，並研究了一種寬帶減反射激光薄膜。相關(guan) 研究成果發表在《光學材料快報》（Optical Materials Express）上。

具有漸變折射率的寬帶減反薄膜在多個(ge) 領域具有應用需求。常見的製備方法包括采用多層減反射薄膜設計、引入傾(qing) 斜沉積薄膜以及使用生物仿真納米結構等，但這些方法難以兼具寬帶與(yu) 低反射率，或製備工藝複雜，成本較高，難以進行大尺寸元件的應用。Al2O3薄膜曾被報道過在高溫水浴中具有化學不穩定性，通過處理後能夠形成漸變折射率的隨機微結構，獲得寬帶減反的特性。

該研究中，研究人員采用電子束蒸發技術製備了Al2O3薄膜，研究了水浴處理時間對Al2O3薄膜微觀結構和減反性能的影響。結果表明，在90℃去離子水中處理7分鍾的Al2O3薄膜在350~1100 nm波段範圍內(nei) 表現出優(you) 異的寬帶減反性能，雙麵鍍膜樣品在350~1100 nm波段範圍內(nei) 的平均透過率約為(wei) 98.8%。基於(yu) 遺傳(chuan) 算法的擬合結果表明，Al2O3薄膜經水浴處理後呈現出拋物線形的折射率分布。該減反射薄膜在1064 nm的激光損傷(shang) 閾值為(wei) 23.9 J/cm2（脈寬12 ns），表現出在高功率激光領域的應用潛力。該成果有望為(wei) 寬帶減反射激光薄膜的製備方式提供新思路。

研究工作獲得國家自然科學基金委、中科院青年創新促進會(hui) 基金、中科院戰略性先導科技專(zhuan) 項等的支持。

雙麵鍍Al2O3薄膜樣品經7分鍾水浴處理後的增透性能示意圖。（a）水浴處理樣品與(yu) 空白石英基底的透射率曲線；（b）空白石英基底（左）與(yu) 水浴處理樣品（右）的實拍照片