大族激光近期在接受機構調研時表示，目前，公司光刻機項目主要應用在分立器件領域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻機已投入市場，步進式光刻機已啟動用戶優(you) 化。

大族激光成立於(yu) 1996年，於(yu) 2004年上市。公司致力於(yu) 工業(ye) 激光加工設備與(yu) 自動化等配套設備及其關(guan) 鍵器件的研發、生產(chan) 和銷售。

大族激光表示，目前，公司激光設備在薄膜電池領域國內(nei) 市占率一直位於(yu) 市場前列，在鈣鈦礦電池行業(ye) 幾家龍頭、前沿研究機構均取得激光設備的交付銷售，及大尺寸激光加工設備的整線交付。

公司在TOPCON領域產(chan) 品布局完整，逐步具備TOPCON電池全產(chan) 業(ye) 鏈設備研發製造能力；在HJT電池已布局PECVD、PVD等設備產(chan) 品。公司現有研發項目包括低壓硼擴散爐、Topcon激光摻硼設備、LPCVD設備等，低壓硼擴散爐、Topcon激光摻硼設備處於(yu) 客戶驗證階段。