據科技新報報道，台積電供應商之一的極光先進激光股份有限公司，8月15日上午11時傳(chuan) 出氟氣鋼瓶泄露事件。氟氣是3級管製有毒氣體(ti) ，整個(ge) 廠區立刻疏散，300多人撤離。

報道稱，消防局收到消息後派人員處理，確認極光先進激光公司發生總量6540克的鋼瓶氟氣外泄事件，由於(yu) 氟氣有毒，消防局立即協助廠區疏散清空，並進行止閥冷卻。

消防局表示，進一步處理之後，氣體(ti) 泄露事件已經解決(jue) 。在廠內(nei) 泄露的氣體(ti) 偵(zhen) 測值已降為(wei) 0，並且消防人員目前確認閥體(ti) 、鋼瓶沒有其他泄漏狀況，公司員工也沒有人員受困或傷(shang) 亡的情況。

至於(yu) 鋼瓶氟氣泄露原因，需進一步調查。

公開資料顯示，極光先進提供作為(wei) 半導體(ti) 曝光設備用的激光，為(wei) 世界上生產(chan) 曝光用Excimer激光製造大廠之一，產(chan) 品覆蓋亞(ya) 洲市場如中國、日本、韓國等大部分的半導體(ti) 製造廠，在歐美市場使用率較高。