深圳新聞網2025年12月26日訊（深圳特區報記者 張銳）12月25日，深圳技術大學半導體(ti) 微納加工中心與(yu) 測試平台正式落成。作為(wei) 深圳市首個(ge) 聚焦化合物半導體(ti) 光電子領域的公共服務平台，該平台的投用填補了深圳市在“光載信息”和“智能傳(chuan) 感”半導體(ti) 芯片領域的空白，將為(wei) 粵港澳大灣區半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 高質量發展提供關(guan) 鍵支撐，築牢深技大應用研究型人才培養(yang) 根基。

深圳技術大學半導體(ti) 微納加工中心與(yu) 測試平台是國內(nei) 高校係統中獨立建成的規模最大、工藝最完整、運營職業(ye) 化的化合物半導體(ti) 光電芯片公共服務平台之一。中心建築麵積2600平方米，其中千級、百級及萬(wan) 級潔淨區麵積達2100平方米。作為(wei) 深圳市首個(ge) 同時支撐化合物光電芯片與(yu) MEMS傳(chuan) 感芯片上遊製造的公共服務平台，配置120餘(yu) 台套先進教學與(yu) 研發工藝設備，構建起覆蓋光刻、刻蝕、薄膜沉積、切磨拋及測試表征等關(guan) 鍵環節的全流程工藝體(ti) 係，可提供“設計—加工—封裝—測試”一站式技術解決(jue) 方案。

人才培養(yang) 方麵，中心精準對接深技大應用研究型人才培養(yang) 需求，依托深技大集成電路與(yu) 光電芯片學院，組建了由50多名高層次科研人員構成的核心團隊，已構建起從(cong) 基礎研究到工藝實現、從(cong) 中試到產(chan) 業(ye) 化的完整創新鏈條。

據介紹，半導體(ti) 微納加工中心與(yu) 測試平台將以專(zhuan) 業(ye) 化、高水平的半導體(ti) 加工與(yu) 測試服務為(wei) 核心抓手，加快破解半導體(ti) 光電產(chan) 業(ye) 領域關(guan) 鍵核心技術，加速推動半導體(ti) 與(yu) 集成電路領域研究成果的工程化突破、產(chan) 業(ye) 化應用、市場化推廣，為(wei) 深圳市半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 和坪山區“中國芯”支柱產(chan) 業(ye) 高質量發展提供堅實支撐。