原標題：國內(nei) 首套高能激光器在亦莊誕生

　　本報訊（實習(xi) 記者 蔣誌穎）3月29日，從(cong) 北京科益虹源光電技術有限公司傳(chuan) 來喜訊，由該公司自主研發設計生產(chan) 的首台高能準分子激光器順利通過出廠驗收。此產(chan) 品“亦莊智造”以高質量、低成本的優(you) 勢，填補了國內(nei) 在準分子激光技術領域的空白，打破了國外廠家對該技術產(chan) 品的長期市場壟斷。

　　“您現在看到的這個(ge) 大型器械就是科益虹源自主研發的準分子激光器，它主要分為(wei) 三層，每一層的作用都不盡相同。”北京科益虹源光電技術有限公司生產(chan) 研發中心副總經理江銳告訴記者，上層叫做高壓脈衝(chong) 電源（分）係統，它主要是提供激光轉化所需的電子能量，這是一個(ge) 高強度的電子能量，所以這是一個(ge) 強電模塊；中間這一塊是關(guan) 鍵的光學核心模塊，它就是把高壓的電能轉化成高強度的光能；底下的就是關(guan) 鍵的控製模塊和一些支撐模塊，包括配水、配氣等等，它可以說是整台激光器的“大腦”，控製著整台激光器的運作。

　　科益虹源有三款主營產(chan) 品，分別是光刻用193nm準分子激光器、光刻用248nm準分子激光器以及浸沒式193nm準分子激光器。這家企業(ye) 已經掌握了重頻4kHz的193nm準分子光刻光源的核心技術，並開發出了原理性樣機。此類定型光源產(chan) 品主要用於(yu) 90nm和65nm以下節點的光刻機，此類光刻機占據主要地位，並在更多i-Line升級領域逐漸占領更多市場。隨著工業(ye) 4.0的不斷推進，更多工業(ye) 智能領域應用的芯片將由90nm光刻機完成。248nm產(chan) 品的技術基礎與(yu) 193nm具有較強的相關(guan) 性，技術難度小，開發成本低，周期更快，在腔體(ti) 設計和光學設計中隻需要較小的改動，就可以快速完成產(chan) 品研製，推向市場。

　　據了解，北京科益虹源光電技術有限公司成立於(yu) 2016年7月，注冊(ce) 資本1.2億(yi) 元，依托股東(dong) 單位中科院光電院、微電子所的技術基礎，亦莊國投、國科控股的產(chan) 業(ye) 及資本力量，致力於(yu) 打造自主創新型企業(ye) ，以具有自主知識產(chan) 權的準分子激光技術及產(chan) 品滿足國家和市場需求。科益虹源是國家02重大專(zhuan) 項“浸沒式曝光光源研製與(yu) 小批量產(chan) 品生產(chan) 能力建設”的成果產(chan) 業(ye) 化載體(ti) ，也是作為(wei) “三城一區”科技創新成果轉化落地的一個(ge) 實例。

　　“科益虹源作為(wei) 開發區光刻機零部件技術創新中心建設的牽頭單位，企業(ye) 自主研發的準分子激光技術及產(chan) 品成為(wei) 國內(nei) 高水平的專(zhuan) 業(ye) 準分子激光技術解決(jue) 方案提供商，該項光刻用準分子激光係統打破了美國和日本的長期壟斷地位。我們(men) 是目前國內(nei) 惟一一支從(cong) 事光刻準分子激光的研發團隊，現已打破該技術的國際壟斷局麵，尤其是在國內(nei) 專(zhuan) 利布局上，目前國家在該領域裏70%的專(zhuan) 利都出自我們(men) 這個(ge) 小團隊。”

　　科益虹源總經理楊軍(jun) 紅告訴記者，“公司投產(chan) 的首台高能準分子激光器順利通過出廠驗收後，將向中國科學院在西南地區規模最大的研究所——中國科學院光電技術研究所提供服務”。

　　“三城”主要是要圍繞著原創創新和重大關(guan) 鍵技術創新，要為(wei) 高精尖產(chan) 業(ye) 構建提供源頭活水和技術支撐;“一區”則是對接三大科學城，讓三大科學城的科技成果在這裏集中轉化，形成高端產(chan) 業(ye) 加速聚集的態勢。北京經濟技術開發區管委會(hui) 副主任陳小男表示：“北京亦莊已經成為(wei) 高精尖產(chan) 業(ye) 的集聚區，並且形成了集成電路，能夠生產(chan) 12英寸、28納米的集成電路芯片，這在世界上屬於(yu) 第一梯隊；在新能源汽車、奔馳發動機等核心部件的製造生產(chan) 方麵形成了較大產(chan) 業(ye) ；還有顯示技術，以京東(dong) 方為(wei) 代表，現在分辨率已經實現4K，到2022年北京冬奧會(hui) 的時候將可能出現8K的顯示技術和直播節目。另外北京亦莊在醫療製藥和醫療器械等方麵也很有特色，產(chan) 業(ye) 基礎、服務體(ti) 係和高精尖產(chan) 業(ye) 的發展環境已經形成。未來三大科學城的科技成果將在這裏集中轉化，形成高精尖高端產(chan) 業(ye) 加速聚集的態勢，努力打造北京亦莊，中國亦莊，世界亦莊。”