智能手機的普及推動著智能手機市場的增長，市場對更高規格產(chan) 品的要求也在提高，包括顯示屏尺寸、分辨率和電池壽命。

智能手機顯示屏中的準分子激光係統

作為(wei) 一個(ge) 關(guan) 鍵的加工工藝，準分子激光退火(Excimer Laser Annealing, ELA)將非晶矽(a-Si)轉變為(wei) 多晶矽(p-Si)，使電子遷移率提高了數百倍，由此可以提升高端薄膜晶體(ti) 管或顯示屏中的像素密度。準分子激光器線光束係統能夠加工智能手機和OLED電視所需的有源矩陣驅動液晶顯示屏(AMLCD)和主動矩陣有機發光二極管麵板(AMOLED)。在最新的ELA係統中，由精巧的柱麵光具傳(chuan) 輸出均勻的線形光束(尺寸為(wei) 750 mm×0.4 mm)，可對第八代麵板實現快速退火。

智能手機市場的需求

平板顯示器(Flat Panel Display, FPD)的製造商不得不麵臨(lin) 著日益嚴(yan) 苛的要求，例如更高的分辨率、增強的對比度、更快的響應時間，同時還要降低顯示器的功耗。這些要求超出了常規顯示屏(非晶矽背板)的性能極限。在智能手機和平板電腦上，高性能顯示屏的分辨率可達300像素/英寸以上——蘋果手機iphoness 5的Retina顯示屏就是一個(ge) 很好的例子;該特性得益於(yu) 導電背板具有較高的電子遷移率，而導電背板正是源自非晶矽。

準分子激光退火技術促使平板顯示屏製造業(ye) 從(cong) 非晶矽轉變到多晶矽背板。由於(yu) 這一技術具有低溫加工的特點，故得名“低溫多晶矽”(Low Temperature Polysilicon, LTPS)，它同樣適用於(yu) 製造新興(xing) 的OLED顯示屏以及柔性顯示屏。

智能手機市場的增長有賴於(yu) 低溫多晶矽

在有源矩陣平板顯示屏中，矽是薄膜晶體(ti) 管(TFT)矩陣的半導體(ti) 基礎，而TFT矩陣能夠對各自獨立的像素進行控製。起初，薄膜沉積是通過傳(chuan) 統的沉積技術來處理，例如在透明玻璃基材上采用PECVD法。所得到的矽薄膜其實是非晶態的，顯示出嚴(yan) 重的缺陷，因此限製了其應用於(yu) 有源矩陣控製型LCD和OLED顯示屏;而多晶矽卻能克服這一缺陷，或者簡而言之，多晶矽具有百倍高的載流子遷移率。