三星電子周一宣布,發現了一種全新半導體(ti) 材料 “無定形氮化硼 (amorphous boron nitride),簡稱 a-BN”,並表示有望推動下一代半導體(ti) 芯片的加速發展。
近年來,三星 SAIT一直在研究二維(2D)材料具有單原子層的晶體(ti) 材料的研究和開發。具體(ti) 而言,該研究所一直致力於(yu) 石墨烯的研究和開發,並在該領域取得了突破性的研究成果,例如開發新的石墨烯晶體(ti) 管以及生產(chan) 大麵積單晶晶片的新方法。石墨烯。除了研究和開發石墨烯外,SAIT還致力於(yu) 加速材料的商業(ye) 化。
“為(wei) 了增強石墨烯與(yu) 基於(yu) 矽的半導體(ti) 工藝的兼容性,應在低於(yu) 400°C 的溫度下在半導體(ti) 襯底上進行晶圓級石墨烯生長。” SAIT的石墨烯項目負責人兼首席研究員 Shin Hyeon-Jin Shin 表示。“我們(men) 還在不斷努力,將石墨烯的應用範圍擴展到半導體(ti) 以外的領域。”
新發現的材料稱為(wei) 無定形氮化硼(a-BN),由具有非晶分子結構的硼和氮原子組成。盡管非晶態氮化硼衍生自白色石墨烯,其中包括以六邊形結構排列的硼和氮原子,但實際上 a-BN 的分子結構使其與(yu) 白色石墨烯具有獨特的區別。
無定形氮化硼具有 1.78 的同類最佳的超低介電常數,具有強大的電氣和機械性能,可以用作互連隔離材料以最大程度地減少電幹擾,還證明了該材料可以在僅(jin) 400°C 的低溫下以晶圓級生長。因此,預計無定形氮化硼將廣泛應用於(yu) 諸如 DRAM 和 NAND 解決(jue) 方案的半導體(ti) ,尤其是在用於(yu) 大型服務器的下一代存儲(chu) 器解決(jue) 方案中。
IT之家了解到,SAIT副總裁兼無機材料實驗室負責人Park Seongjun Park表示:“最近,人們(men) 對2D材料及其衍生的新材料的興(xing) 趣不斷增加。但是,將材料應用於(yu) 現有的半導體(ti) 工藝仍然存在許多挑戰,我們(men) 將繼續開發新材料來引領半導體(ti) 範式的轉變。”
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