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QFL-FH係列氣浮運動台
產品特點lŸ非接觸開式氣浮結構Ÿ行程25~150mm可選lŸ重複定位精度±50nm Ÿ直線度±0.1μm，平麵度±0.15μm lŸ擺角誤差±0.5a
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2024-04-22 |
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QFU係列單軸氣浮運動台
產品特點lŸ非接觸閉式氣浮結構 Ÿ行程100~1000mm可選lŸ亞微米級重複定位精度 Ÿ全行程直線度優於1μmŸ高柔線纜管理 Ÿ可定製
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2024-04-22 |
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NOTE-AB軸係列氣浮轉台
產品特點lŸ閉式氣浮軸承結構 Ÿ精準回零點位置lŸ正交性 2~10arc sec Ÿ直驅零齒槽效應Ÿ軸心線重合度 2~10μmŸ解決氣浮抱死問
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2024-04-22 |
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QFR係列氣浮轉台
產品特點lŸ閉式氣浮結構 Ÿ直驅零齒槽效應lŸ定位精度±0.5arc sec Ÿ同步跳動誤差10nmŸ精準回零誤差 Ÿ高速度穩定性Ÿ最大承
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2024-04-22 |
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QFL3D係列三軸氣浮運動台
產品特點lŸ三軸直驅氣浮結構 Ÿ重複定位精度±50nmlŸ結構緊湊、精度高Ÿ全行程直線度±0.1μmŸ根據需求可定製 Ÿ高柔線纜管理
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2024-04-22 |
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QFL-XY-SG係列三軸高精度運動台
產品特點ŸXY軸非接觸式氣浮結構 ŸZ軸平升直驅結構lŸ結構緊湊、精度高Ÿ亞微米級重複定位精度ŸXY直線度±50nmŸZ直線度1μm內
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2024-04-22 |
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QFU-A係列雙軸氣浮運動台
產品特點lŸ非接觸閉式氣浮結構Ÿ光柵尺閉環反饋lŸ亞微米級重複定位精度 Ÿ直線度平麵度優於1μmŸ優化線纜管理 Ÿ可定製化設計
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2024-04-22 |
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JXRAB係列機械轉台
產品特點Ÿ直驅結構轉台，閉環控製 Ÿ結構緊湊，節省安裝空間Ÿ高動態、高扭矩及高精度 Ÿ可選增量或絕對光柵反饋Ÿ軸向和徑向跳
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2024-04-22 |
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