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中國成為全球惟一能製造深紫外激光器的國家
由中國科學院承擔的國家重大科研裝備研製項目“深紫外固態激光源前沿裝備研製項目”今天在北京通過驗收,使我國成為(wei) 世界上惟一一個(ge) 能夠製造實用化深紫外全固態激光器的國家...
2013-09-07 -
Gigaphoton公司實現LPP EUV激光光源20W功率輸出
近日,Gigaphoton公司在LPP光源技術的研究上取得重大的突破,實現了高輸出低成本的穩定LPP光源,研製出了輸出功率達20W的LPP EUV激光光源,將進一步推動著極EUV光源的發展。 Gigaphoton 公司18日宣...
2013-08-24 -
華日達成月產150台紫外激光器產能
華日消息,截止2013年7月底,武漢華日精密激光有限責任公司二期擴產(chan) 項目已經順利完成。生產(chan) 能力大大提高,目前公司已經順利達成月產(chan) 150台紫外激光的產(chan) 能目標,同時完全滿足批量可靠性的...
2013-08-07 -
EKSPLA發布50w高功率工業級全固態皮秒激光器
半導體(ti) 激光泵浦的全固態激光器是20世紀80年代末期出現的新型激光器,具有體(ti) 積小、重量輕、效率高、性能穩定、可靠性好、壽命長、光束質量高等優(you) 點,市場需求十分巨大,采用全固態激光...
2013-06-15 -
極紫外光源光刻技術離我們還有多遠?
極紫外(EUV)光源可以為(wei) 晶圓生產(chan) 提供幾十瓦功率是一個(ge) 重要的裏程碑,預計今年稍晚些時候可以開始大批量供貨。但對於(yu) 大規模生產(chan) 芯片,其性能還存在嚴(yan) 峻的挑戰。 回顧半導體(ti) 光刻曆史,2...
2013-06-12 -
我國首次實現新型深紫外激光輸出
我國首次實現 新型深紫外激光輸出 在十二五863計劃新材料領域先進激光材料及全固態激光技術主題項目支持下,中國科學院理化技術研究所承擔的深紫外激光器及人工晶體(ti) 關(guan) 鍵技術課題取得重...
2013-05-30 -
紫外激光器產業化關鍵技術獲突破 提升核心競爭力
據科技部消息,清華大學等單位共同承擔的十二五863計劃新材料領域紫外激光器產(chan) 業(ye) 化關(guan) 鍵技術及應用課題取得重要進展,於(yu) 近日通過技術驗收。 課題組解決(jue) 了厘米級BBSAG晶體(ti) 生長、非線性晶...
2013-05-27 -
紫外激光器產業化關鍵技術獲突破 提升核心競爭力
據科技部消息,清華大學等單位共同承擔的十二五863計劃新材料領域紫外激光器產(chan) 業(ye) 化關(guan) 鍵技術及應用課題取得重要進展,於(yu) 近日通過技術驗收。 課題組解決(jue) 了厘米級BBSAG晶體(ti) 生長、非線性晶...
2013-05-22
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