我國首次實現

　　新型深紫外激光輸出

　　在“十二五”863計劃新材料領域“先進激光材料及全固態激光技術”主題項目支持下，中國科學院理化技術研究所承擔的“深紫外激光器及人工晶體(ti) 關(guan) 鍵技術”課題取得重大進展，於(yu) 近期通過了課題技術驗收。

　　深紫外激光由於(yu) 波長短、光子能量高，因而在高分辨率成像、光譜應用、微細加工等諸多領域具有重要的應用價(jia) 值，獲得實用化、精密化的深紫外光源一直是科學家們(men) 不斷追求的目標。我國在深紫外晶體(ti) 材料和激光技術領域具有國際領先優(you) 勢，但隨著應用的發展，急需更高性能的深紫外全固態激光源（DUV-DPL），如更高功率、更窄線寬。

　　該課題在國際上首次實現高功率、窄線寬177.3nm深紫外激光輸出，解決(jue) 了大尺寸KBBF族深紫外晶體(ti) 生長、優(you) 質KBBF-PCT器件研製、高效深紫外倍頻技術、窄線寬深紫外激光產(chan) 生技術等關(guan) 鍵問題，KBBF晶體(ti) 厚度突破4mm。

　　該課題完善、鞏固了我國擁有的深紫外自主知識產(chan) 權體(ti) 係，填補了直接倍頻產(chan) 生高功率、窄線寬深紫外激光的空白，擴展了深紫外激光可實用化、精密化應用。