激光幹涉儀(yi) 是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具，可按照規定標準處理測量數據並輸出誤差曲線，為(wei) 數控機床的誤差 修正提供可靠依據，現場使用尤為(wei) 方便。

激光幹涉儀(yi) 配有各種附件，可測量小角度、平麵度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。

激光幹涉儀(yi) 也是一種高精度位移傳(chuan) 感器，可直接用於(yu) 高精度、大 尺寸的動態位移測量係統。

激光幹涉儀(yi) 具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量 元件的檢測和刻劃功能，可按預定的間距自動完成檢測和刻劃定位。

1.測量精度高、速度快，穩定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結合伺服穩頻控製係統，達到高精度穩頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為(wei) 測量單位，分辨率可達nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。

④配合有環境補償(chang) 單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度

⑤分離式幹涉鏡設計，避免了測量鏡組由於(yu) 主機發熱而引起的鏡組形變

2. 應用範圍廣

①可以實現線性、角度、直線度、垂直度、平麵度等幾何量的檢測

②結合我們(men) 的軟件係統，可以用於(yu) 速度，加速度，振動分析以及穩定度等分析

③ 可實時監控精密加工機床等機器的動態數據，進行動態特性分析

3.軟件界麵友好

①使用當前熱門的軟件界麵開發工具，軟件界麵人性化，操作簡單。

②將靜態測量和動態測量兩(liang) 種功能合並到一個(ge) 軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向導式操作，流程清晰，更符合國內(nei) 用戶的使用習(xi) 慣。

4 性價(jia) 比高

性能達到了國外儀(yi) 器的水準，價(jia) 格是國內(nei) 儀(yi) 器的良心價(jia) 。

 
三.中圖儀(yi) 器激光幹涉儀(yi) 技術參數

      係統性能

² 測量方式：單頻

² 穩頻精度：0.05ppm

² 動態采集頻率：50 kHz

² 預熱時間：5-10分鍾

² 工作溫度範圍：0~40℃

² 環境溫度範圍：0~40℃

² 存儲(chu) 溫度範圍：-20℃~70℃

      環境補償(chang) 示值誤差

² 空氣溫度傳(chuan) 感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

² 材料溫度傳(chuan) 感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

² 空氣濕度傳(chuan) 感器：±6% (0-95%)

² 大氣壓力傳(chuan) 感器：±1mBar (650-1150mbar)

      線性測量

² 測量距離：0-40m

² 測量精度：0.5ppm (0-40℃)

² 測量分辨率：1nm

² 測量最大速度：4m/sec