激光幹涉儀(yi) 是以光波為(wei) 載體(ti) ，以光波波長為(wei) 單位的一種計量測試方法，是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段，在高端製造領域應用廣泛。

SJ6000激光幹涉儀(yi) 產(chan) 品采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償(chang) 模塊、幾何參量幹涉光路設計、高精度激光幹涉信號處理係統、高性能計算機控製係統技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控製技術，實現快速(5~10分鍾)、高精度(0.05ppm)、抗幹擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組與(yu) 激光配合，得到不同的幹涉信號，然後通過高精度激光幹涉信號處理係統得到幹涉數據，將數據通過計算機進行顯示和動態分析。

SJ6000激光幹涉儀(yi) 產(chan) 品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量範圍大等優(you) 點。通過與(yu) 不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平麵度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guan) 軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，如可以測量數控機床的定位精度、重複定位精度、微量位移精度等動態參量，可以進行機床振動測試與(yu) 分析，滾珠絲(si) 杆的動態特性分析，驅動係統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有極高的精度和效率，而且及時處理數據，為(wei) 機床誤差修正提供依據。

一個(ge) 角錐反射鏡緊緊固定在分光鏡上，形成固定長度參考光束。另一個(ge) 角錐反射鏡相對於(yu) 分光鏡移動，形成變化長度測量光束。

從(cong) 激光頭射出的激光光束(1)具有單一頻率，標稱波長為(wei) 0.633µm，長期波長穩定性（真空中）優(you) 於(yu) 0.05ppm。當此光束到達偏振分光鏡時，被分成兩(liang) 束光—反射光束(2)和透射光束(3)。這兩(liang) 束光被傳(chuan) 送到各自的角錐反射鏡中，然後反射回分光鏡中，在嵌於(yu) 激光頭中的探測器中形成幹涉光束。

如果兩(liang) 光程差不變化，探測器將在相長幹涉和相消幹涉的兩(liang) 端之間的某個(ge) 位置觀察到一個(ge) 穩定的信號。如果兩(liang) 光程差發生變化，每次光路變化時探測器都能觀察到相長幹涉和相消幹涉兩(liang) 端之間的信號變化。這些變化（條紋）被數出來，用於(yu) 計算兩(liang) 光程差的變化。測量的長度等於(yu) 條紋數乘以激光波長的一半。

應當注意到，激光波長將取決(jue) 於(yu) 光束經過的空氣的折射率。由於(yu) 空氣折射率會(hui) 隨著氣溫、壓力和相對濕度的變化而變化，用於(yu) 計算測量值的波長值可能需要對這些環境參數的變化進行補償(chang) 。在實踐中，對於(yu) 技術指標中的測量精度，隻有線性位移（定位精度）測量需要進行此類補償(chang) ，在這種情況下兩(liang) 束光的光程差變化可能非常大。