1. 測量精度高:以激光幹涉技術為(wei) 核心,分辨率可達納米級;采用高精度環境補償(chang) 模塊,解決(jue) 溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環境因素對測量結果的影響;使用激光熱穩頻控製係統,保證激光長期穩頻精度;幹涉鏡與(yu) 主機分離設計,避免幹涉鏡受熱變形,保證幹涉光路穩定。
2. 具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重複定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;並且可滿足回轉軸分度精度的測量。
3. 可根據用戶設定的補償(chang) 方式自動生成誤差補償(chang) 表,滿足機床誤差修正的要求。
4. 具有動態測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線)及測量振幅和頻率分析的功能,可進行機床振動測試與(yu) 分析,滾珠絲(si) 杆的動態特性分析,驅動係統的響應特性分析,導軌的動態特性分析等。
5. 內(nei) 置各種類國標(GB)、ISO(國際)、BS(英製)、美標、DIN(德標)、JIS(日標)等機床檢驗標準。可依據各種機床標準分析處理數據,並根據測量結果可打印相應的曲線圖和數據報告。
6. 可自動監測環境溫度、材料溫度、環境濕度和大氣壓力的參數。可選擇手動或自動對波長進行環境補償(chang) 。
7. 測量記錄采用集中式數據庫管理,可按被測件類型、生產(chan) 單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄;可將檢定數據輸出到Word、Excel、AutoCAD(選配)文檔。
8. 安裝方便:基本重量為(wei) 15kg,簡單便攜。
二.SJ6000激光幹涉儀(yi) 應用
1、在數控機床檢定中的應用
SJ6000激光幹涉儀(yi) 可用於(yu) 精密機床定位精度、重複定位精度、微量位移精度的測量,為(wei) 機床誤差修正提供依據。軟件內(nei) 置10項常用機床檢驗標準。使用激光幹涉儀(yi) 檢測機床各項誤差並進行修正是傳(chuan) 統測量手段難以實現的技術,是大幅度提高數控機床的加工精度的關(guan) 鍵措施。
數控機床軸定位精度、重複定位精度的檢測
2、在三坐標檢測中的應用
SJ6000激光幹涉儀(yi) 搭配其鏡組和輔件可檢測三坐標測量機的位移精度、直線度、垂直度。隨著當代製造業(ye) 對加工速度的要求提升,三坐標測量機各結構件由於(yu) 高速運行產(chan) 生機構變形,導致的動態誤差不可忽略。使用激光幹涉儀(yi) 對三坐標測量機進行靜態誤差、動態誤差測量和補償(chang) ,對提升測量精度具有重要意義(yi) 。
三坐標線性精度、垂直度的檢測
3、在位移傳(chuan) 感器中的應用
利用激光幹涉儀(yi) 對位移傳(chuan) 感器檢定成為(wei) 發展趨勢,其特點是反應速度快、測量精度高,是位移傳(chuan) 感器實現高精度校準的重要手段。
傳(chuan) 感器線性精度的測量
4、與(yu) 其他鏡組配合的應用
SJ6000激光幹涉儀(yi) 與(yu) 不同光學組件結合,可以實現距離、角度、直線度、垂直度、平行度、平麵度等參數的測量,具有極高的精度和效率。
測長機線性精度、垂直度的測量
SJ6000激光幹涉儀(yi) 技術參數:
技術線性測長精度:±0.5ppm(0~40℃)
激光穩頻精度:0.05ppm
分辨率:0.001um