微激光鑽孔是工業(ye) 中最常見和最常用的激光加工之一。各種各樣的激光光源類型可以處理各種材料(金屬、陶瓷、半導體(ti) 、聚合物和有機材料等),具有前所未有的可重複性、準確性和速度。微鑽孔在許多行業(ye) 中都很突出,例如汽車、航空航天和電子,甚至激光手術和食品行業(ye) 。例如,該工藝能夠將高縱橫比鑽孔降至微米級,最近已為(wei) 汽車行業(ye) 開發了新的噴嘴,將發動機燃油效率提高到30%。
超短脈衝(chong) 激光器通常以高重複頻率(有時每秒超過十萬(wan) 個(ge) 脈衝(chong) )提供短而強的光脈衝(chong) 。這些激光器的突出特點,是它們(men) 可以在極短的時間內(nei) ,大約一皮秒(10-12秒)到幾十飛秒(10-15秒),集中脈衝(chong) 的發光強度。每個(ge) 脈衝(chong) 都帶有一定量的能量,但其短促性使其能夠獲得相當高的峰值功率(高達幾十瓦)。
另一種常用的形狀是貝塞爾光束,它使傳(chuan) 播的能量在長距離上強烈聚集在小而細長的區域中。因此,對於(yu) 具有高縱橫比(深度與(yu) 直徑比遠大於(yu) 10:1的孔)的小直徑孔(有時直徑小於(yu) 微米)的鑽孔特別有用。該形狀特別用於(yu) 加工透明材料,8例如玻璃或藍寶石。對於(yu) 更具體(ti) 的應用,可能需要產(chan) 生更特定幾何形狀的光束,例如使用無掩模光刻來加工光子晶體(ti) 或電子微元件。
最近,多平麵光轉換(MPLC)技術在光束整形方麵提供了大量的自由度,同時具有高轉換效率(> 95%)。MPLC技術自2013年開始由法國CAILabs公司開發,在整形參數、景深和能效方麵取得了創紀錄的成果。它可以為(wei) 激光行業(ye) 生成標準形狀,例如平頂和貝塞爾光束,以及針對更具體(ti) 應用的定製形狀,無論使用何種波長。此外,它還提供了新功能,例如多個(ge) 光束的合束整形,可以生成複雜的形狀。
轉載請注明出處。