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- 2023-02-15 09:14大族激光接近式光刻機已投入市場
- 2023-02-14 09:28再度突破，哈工大公布重要光刻機技術，國產芯片有望實現7納米
- 2023-02-08 13:56大族激光光刻機獲新進展
- 2023-02-07 10:17大族激光：接近式光刻機已投入市場，步進式光刻機已啟動用戶優化
- 2022-12-06 10:29半導體設備，光刻機一枝獨秀
- 2022-12-05 09:37半導體設備，光刻機一枝獨秀
- 2022-07-05 09:03英特爾公布集成光電研究新進展
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