高純氣體(ti) 產(chan) 品的分類     目前, 國內(nei) 市場的氣體(ti) 產(chan) 品按其用途可進行如下分類:  1、一般工業(ye) 用氣。包括工業(ye) 氫氣、工業(ye) 氮氣等。  2 、醫療用氣。包括醫用氧氣、麻醉氣等。  3、食品工業(ye) 用氣。如液體(ti) 二氧化碳。  4、 民用燃氣。如天然氣, 液化石油氣等。  5、電子工業(ye) 用氣。如矽烷、磷烷等。  6、儀(yi) 器儀(yi) 表用氣。如標準氣、色譜載氣等。  7、其它特殊用途用氣。     一般情況下, 1～4 類氣體(ti) 產(chan) 品的市場需求量很大, 而純度要求不是很高, 主體(ti) 成分含量通常在9915% 以下。 5～ 7 類氣體(ti) 即所謂的特種氣體(ti) , 其特點是品種繁多, 市場需求量較小, 純度要求高, 對其所含的雜質的種類和數量有著嚴(yan) 格 的限定。     不同類別的同一種氣體(ti) , 質量要求差異很大。

高純氣體(ti) 的分析     高純氣體(ti) 分析的核心是對其中的規定雜質進行定性、定量測定。由於(yu) 高純氣體(ti) 中的限定雜質數目多, 且含量極低, 通常在 10-6～ 10-7範圍, 因此對測試設備和分析人員均有較高的要求。     目前, 用於(yu) 高純氣體(ti) 測試的設備主要有:色譜儀(yi) 、質譜儀(yi) 、色- 質聯用儀(yi) 、光譜儀(yi) 、電化學儀(yi) 器、露點儀(yi) 及各種專(zhuan) 項測試儀(yi) 表。經典的化學分析方法也是測定化學活性雜質的常用手段。     從(cong) 事高純氣體(ti) 分析的分析人員應熟悉氣體(ti) 分析的一般過程, 具有正確選擇檢測方法的能力, 並通過實踐掌握高純氣體(ti) 分析的特殊技能。擁有具備資格的分析人員和適宜的測試設備, 是開展高純氣體(ti) 檢測工作的前提。     隨著半導體(ti) 工業(ye) 的發展, 對氣體(ti) 產(chan) 品的質量要求越來越高, 對高純氣體(ti) 分析的測試技術要求亦在不斷提高。可以斷言, 高純氣體(ti) 測試手段及方法的研究是一項永無止境的工作。