理光工業(ye) 解決(jue) 方案公司(RICOH Industrial Solutions,總部:橫濱市)將於(yu) 2016年2月29日開始銷售超短光纖激光器“RICOH SU-1020”。該產(chan) 品采用直接調製方式的初始光源,能夠改變脈衝(chong) 寬度和反複頻率。可應用於(yu) 多種加工用途,包括薄膜太陽能電池單元等的圖案形成加工、平板顯示器用玻璃等的切割加工、微細光學元件模型等的微細加工等。
激光波長為(wei) 1064±3nm,平均輸出功率最大16W。據介紹,在10W以上光纖激光器中,這是業(ye) 內(nei) 首款采用直接調製方式的。脈衝(chong) 寬度可在50ps~9ns的範圍內(nei) 任意設定,反複頻率可在200kHz~4MHz的範圍內(nei) 任意設定。這樣便可充分利用熱加工的加工性優(you) 點及非熱加工的高加工品質優(you) 點,實現融合兩(liang) 方麵優(you) 點的複合加工。
脈衝(chong) 能量在2MHz(8W)下為(wei) 4μJ/100ps、在200kHz(8W)下為(wei) 40μJ/1ns。峰值功率最大為(wei) 41kW。如果調整脈衝(chong) 能量,還可將利用光熱作用急劇加熱加工對象物使之氣化的熱熔融加工,與(yu) 瞬間照射高峰值功率光束以破壞原子間鍵合的消融加工相組合,輕鬆設定最優(you) 加工條件。
另外,該激光器還可防止對加工部周圍造成熱損傷(shang) ,也是其優(you) 點之一。這得益於(yu) 最短脈衝(chong) 寬度縮短到了比熱擴散時間更短的50ps。在微細加工中,可減少基材變焦、變質、變形的情況。另外,如果設定對主振蕩器產(chan) 生的脈衝(chong) 串實施間歇驅動的“猝發門控(Burst Gate)振蕩模式”,還可降低因空間性脈衝(chong) 重疊導致的熱量積蓄,提高非熱加工性能。
輸出光束直徑為(wei) 1mm。在以光纖放大器為(wei) 基礎的同時使用混合激光器技術,可輕鬆聚斂光束。據介紹,能夠以數μm級別實現反複再現性高的微細加工。
另外,該激光器采用將激光頭從(cong) 脈衝(chong) 引擎部分分離出來的設計,可輕鬆配備到可動載物台及機器手上。外形尺寸方麵,脈衝(chong) 引擎部分為(wei) 寬480×進深504×高199mm,激光頭部分為(wei) 寬38×進深45×高250mm。
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