皮秒激光作為(wei) 一種新型的能量源，具有皮秒級超短脈寬、重複頻率可調、脈衝(chong) 能量高等特點，有望實現在金屬表麵實現高精度、高效率的膜移除效果。紅外皮秒激光器通常會(hui) 提供更大的輸出功率，從(cong) 而在無熱影響區的前提下帶來更高的處理速度。

引 言：

隨 著大功率激光器技術的發展，激光與(yu) 材料相互作用研究的深入，激光加工已經成為(wei) 加工領域中的一種常用技術。近年來，皮秒激光器在各種材料的微加工中獲得越來 越多的應用。微加工通常針對的是微米級別的加工需求，如金屬表麵處理，同時還要避免對周邊材料造成熱損傷(shang) 。微加工的目的就是獲得精細、幹淨的切口，而且熱 影響區（HAZ）最小。皮秒脈衝(chong) 激光器的脈衝(chong) 寬度之短、足以避免能量發生熱擴散並達到這些消融臨(lin) 界過程所需要的峰值能量密度，因此在該加工應用領域具有眾(zhong) 多優(you) 勢。SPARK LASERS 紅外皮秒激光器基於(yu) 其超短脈衝(chong) 、高功率、高脈衝(chong) 能量等優(you) 勢，在材料微加工領域有著廣泛的應用。

1.        議題

可行性實驗的主要目的是使用皮秒激光器通過絕緣膜（陶瓷）清晰劃線，顯示不鏽鋼的一些規格：

   幹淨、選擇性清除

   膜塗層無熱影響區域

   激光對不鏽鋼無損傷(shang)

我們(men) 需要實現膜上凹槽不同寬度（50、200和1000um）。以最好的工藝參數，我們(men) 處理特定的包含3個(ge) 凹槽的刻線模式，長度100mm；相鄰間隔6mm、依次翻倍即12mm、24mm。3個(ge) 凹槽組成的每組之間間隔為(wei) 10 mm。

1.        技術選擇

如下為(wei) 選用的激光器的主要特點：

1.        可行性試驗

為(wei) 了確定最好的加工窗口用於(yu) 不鏽鋼上膜的移除，我們(men) 改變不同的實驗參數如下：

ü   脈衝(chong) 能量

ü   平均功率

ü   重複頻率

ü   掃描速度

ü   迭代次數

使用低重複頻率（25 kHz）減少基質上的熱積累，因此可獲得更好質量的凹槽（無熱影響區、毛糙…….）

4. 度量

陶瓷樣品

50 um槽寬：

200 um槽寬：

1000 um槽寬：

最終的實物圖：