近日,廣東(dong) 省工業(ye) 超短脈衝(chong) 激光技術企業(ye) 重點實驗室在廣東(dong) 省科技廳組織的2022年考核評估過程中獲得“良好”評級,將再次得到資助。
廣東(dong) 省工業(ye) 超短脈衝(chong) 激光技術企業(ye) 重點實驗室於(yu) 2018年9月獲批成立,依托大族激光科技產(chan) 業(ye) 集團股份有限公司(簡稱大族激光)聯合暨南大學、華南師範大學進行建設管理,地址位於(yu) 深圳市寶安區大族激光全球智造中心,麵積超過6000平方米。
實驗室由大族激光首席技術官呂啟濤博士擔任主任,專(zhuan) 家委員會(hui) 由3位院士與(yu) 7位專(zhuan) 家教授組成,專(zhuan) 職研發人員超過40人。
實驗室圍繞工業(ye) 超短脈衝(chong) 激光核心器件的技術突破、超短脈衝(chong) 激光與(yu) 物質的相互作用工藝、基於(yu) 自主研發超短脈衝(chong) 激光器的激光裝備等方向開展前沿技術研究與(yu) 工業(ye) 應用開發。實驗室的建設瞄準國際超短脈衝(chong) 激光一流技術,麵向精密製造經濟主戰場、彌補科研院校在工程化及應用方麵的短板,在高端製造技術領域破解美西方對核心技術的限製。
依托實驗室建設,在超快激光晶體(ti) 、工業(ye) 級超快激光器智能控製係統等關(guan) 鍵自研器件,光纖皮秒種子源等自製核心模塊,百瓦級工業(ye) 全固態紅外皮秒激光器、高功率固體(ti) 紫外皮秒激光器、高功率紅外飛秒激光器等超短脈衝(chong) 激光器方麵成果豐(feng) 碩。
實驗室開發的超短脈衝(chong) 激光種子源,平均功率>50mW,光譜寬度<0.5nm,脈衝(chong) 寬度<10ps,具有超高穩定性。暨南大學團隊針對全固態超短脈衝(chong) 激光器晶體(ti) 展開研究,並取得突破性進展,團隊利用提拉法自主製備的高品質Yb:晶體(ti) ,其發射光譜遠寬於(yu) 商用Yb:YAG晶體(ti) ,同時其導熱性能優(you) 於(yu) 常用超快激光晶體(ti) Yb:實現寬光譜發射和高導熱性能兼顧,成功應用於(yu) 激光鎖模係統中。目前已經實現32fs(328mW)、38fs(763mW)、51fs(1720mW)和72fs(2070mW)超短脈衝(chong) 激光輸出。
大族激光團隊研製的5-50W全光纖超快激光器、10-100W光纖+固體(ti) 放大超快激光器性能優(you) 異,均已實現量產(chan) 。高功率碟片超快激光器實現50-200W的激光輸出。團隊開發的紅外皮秒激光器實現300瓦功率輸出。攻克了製造工藝和工程技術難題,將紫外波長轉化效率提高到35%以上,非線性晶體(ti) 單點壽命突破10000小時,355nm紫外激光最大激光輸出功率達105W(8 ps)。經過專(zhuan) 家技術鑒定,該紫外皮秒激光器及裝備“整體(ti) 達到國際先進,部分國際領先水平”。市場表現上,5W-100W工業(ye) 級皮秒激光器已經實現進口替代、累計銷售額超過12億(yi) 元。
暨南大學團隊自主生長的5.65 at.% Yb:激光晶體(ti)
實驗室麵向產(chan) 業(ye) 應用需求,立足前沿技術,實現從(cong) 實驗室到市場應用的一站式服務。針對超短脈衝(chong) 激光與(yu) 物質的相互作用機理,華南師範大學團隊係統開展了飛秒激光對不鏽鋼等金屬材料燒蝕特性研究,實現鈦合金表麵超親(qin) 水性能的微納結構構建。相關(guan) 技術在實驗室的“產(chan) 學研用”體(ti) 係下得到市場驗證。大族激光團隊麵向5G通訊、晶圓加工、醫療器械、3C電子等行業(ye) 應用,對超短脈衝(chong) 激光對玻璃、陶瓷、藍寶石等硬脆性材料的加工工藝進行了重點研究,以超短脈衝(chong) 激光“更快的刀、更準的尺”為(wei) 抓手,開發出超快激光玻璃切割機、紫外皮秒晶圓切割機、高精度大幅麵綠光皮秒激光微加工係統、全自動多頭分光高精度藍寶石鍍層超快激光去除係統、多脈寬合束激光多層脆硬材料標記係統等多套激光加工裝備,實現規模化生產(chan) 。
依托實驗室建設,團隊獲得“廣東(dong) 省科技進步獎一等獎”2項、“廣東(dong) 省科技進步二等獎”1項、中國光學學會(hui) “中國光學科技獎一等獎”2項、中國有色金屬學會(hui) “工業(ye) 科學技術二等獎”1項,申請(授權)各類專(zhuan) 利超過20項。團隊牽頭(參與(yu) )承擔國家級研發計劃2項、省重點領域研發計劃項目2項、市級技術攻關(guan) 重點項目等3項、參與(yu) 製定團體(ti) 標準1項。
本實驗室的建設推動了相關(guan) 行業(ye) 的技術革新,並帶動上下遊產(chan) 業(ye) 發展。實驗室將繼續秉承“基礎器件技術領先,行業(ye) 裝備深耕應用”的發展戰略,強化基礎研究、突破核心技術,為(wei) 廣東(dong) 省高端裝備製造業(ye) 轉型升級助力,促進經濟高質量發展,推動中國新型工業(ye) 化建設,為(wei) 實現製造強國戰略貢獻力量。
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