激光微納製造是微納製造技術的重要部分。激光微納製造是通過激光與(yu) 材料相互作用,改變材料的物態和性質,實現微米至納米尺度或跨尺度的控形與(yu) 控性。由於(yu) 激光微納製造在能量密度、作用的空間和時間尺度、製造體(ti) 吸收能量的可控尺度都可分別趨於(yu) 極端,而使製造過程所利用的物理效應、作用機理完全不同於(yu) 傳(chuan) 統製造,其製造複雜結構的能力與(yu) 品質遠高於(yu) 傳(chuan) 統製造,由此產(chan) 生了一批新技術(如光刻、近場納米製造、幹涉誘導加工、微焊接等)、一批新產(chan) 品(如大規模集成電路、MEMS/NEMS等)、一批產(chan) 品的高性能化(如航空發動機、燃氣輪機、太陽能電池等)和相應的高新技術產(chan) 業(ye) 群。
激光微納製造涉及光學、物理、材料、化學、生物、信息、控製、機械、納米科技等學科,必將推動製造及相關(guan) 學科的深入發展。並為(wei) 能源、航空、IC製造、國防、汽車、生物、醫療等領域實現跨越式發展提供重要的製造支撐。
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