太陽電池製造是產(chan) 業(ye) 中最重要的一環，對於(yu) 太陽電池製造商來說，增效降本始終是其追求的目標。如何從(cong) 技術角度提高太陽電池轉換效率，是在電池生產(chan) 中不斷探求解決(jue) 方案的過程。

當前，PERC太陽電池量產(chan) 轉換效率已達到21.5%，主要得益於(yu) 其背表麵優(you) 異的鈍化效果（氧化鋁或氧化矽薄膜等）。對於(yu) 其下一步提效方向,即降低正表麵複合速率，其中SE結構（Selective Emitter）是達到此效果的重要技術。目前，實現SE結構的技術手段包括: 掩膜法、印刷磷源法、激光方式、矽墨技術、反蝕法等。對於(yu) PERC電池產(chan) 線而言，激光PSG摻雜技術工藝過程最為(wei) 簡單，工藝流程中隻需增加激光摻雜一個(ge) 步驟；從(cong) 設備上說，也隻需增加摻雜用激光設備即可，與(yu) 常規產(chan) 線兼容性強，是行業(ye) 研究熱點。因此，PERC太陽電池疊加激光SE技術，成為(wei) 當下各家光伏大廠提效的主要手段。

深圳市大族太陽能裝備有限公司為(wei) 滿足客戶需求，研製出高產(chan) 能、工藝效果佳的激光摻雜設備，同時根據客戶現場實際工藝情況，提供激光SE整體(ti) 應用解決(jue) 方案，可有效提高太陽電池轉換效率。

激光摻雜技術原理：

激光摻雜技術是在金屬柵線（電極）與(yu) 矽片接觸部分進行重摻雜，而電極以外位置保持輕摻雜（低濃度摻雜）。通過熱擴散方式，在矽片表麵進行預擴散，形成輕摻雜；同時表麵PSG作為(wei) 局部激光重摻雜源，通過激光局部熱效應，PSG中磷原子二次快速擴散至矽片內(nei) 部，形成局部重摻雜區。配合激光高精度圖形化，可實現與(yu) 後續絲(si) 網印刷完美套印效果。

激光局部摻雜即SE技術，主要有以下優(you) 勢：

1）降低太陽電池串聯電阻，提升FF；

2）減少表麵複合，提高表麵鈍化效果；

3）表麵低濃度擴散，提高了電池短波響應，提高短路電流和開路電壓。

 

激光摻雜的優(you) 點：

1）僅(jin) 需激光圖形化一步即可完成，工藝流程簡單；

2）局部激光熱效應，最大限度降低高溫對矽本體(ti) 熱損傷(shang) ；

3）激光加工過程簡單、無需化學處理，無汙染。

大族激光摻雜設備：

大族太陽能裝備自主研發的激光摻雜機，采用新一代光束整形技術（方形光斑、大小可調），能最大限度降低矽襯底損傷(shang) ，產(chan) 能高達5500pcs/h。設備內(nei) 整體(ti) 大理石平台、高精度CCD視覺定位係統、高速柔性傳(chuan) 輸機構、獨立除塵係統等配置，保證碎片率低於(yu) 0.05%。

除了激光摻雜技術以外，大族太陽能裝備針對太陽能行業(ye) 的需求，進行全麵係統的技術研發和設備開發工作，致力於(yu) 為(wei) 太陽能行業(ye) 提供整套成熟的激光解決(jue) 方案，成為(wei) 行業(ye) 內(nei) 激光加工裝備的領先供應商。