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應用於觸摸屏生產的激光蝕刻裝置及其工藝技術創新研究

來源:專(zhuan) 注科技政策谘詢2020-05-26 我要評論(0 )   

觸摸屏通常由透明導電氧化物(TCO)薄膜組成,這些薄膜被劃線來形成絕緣電極和互聯,這通常使用化學濕法光刻蝕。激光刻蝕技術利用激光直接在透明基板上對薄膜進行刻蝕,...

觸摸屏通常由透明導電氧化物(TCO)薄膜組成,這些薄膜被劃線來形成絕緣電極和互聯,這通常使用化學濕法光刻蝕。激光刻蝕技術利用激光直接在透明基板上對薄膜進行刻蝕,通過計算機控製激光光束的移動,激光對薄膜材料進行選擇性氣化,形成所需要的圖形。本項目研究的設備和工藝可以在一個(ge) 工作周期內(nei) 同時完成整個(ge) 模組的ITO和銀漿的刻蝕加工,因此減少了加工工序,大大提高加工產(chan) 品的生產(chan) 效率。

核心技術:

本項目設備集數控技術、激光技術、軟件技術等光機電技術為(wei) 一體(ti) ,對傳(chuan) 統的化學工藝進行了徹底革新,具有高靈活性、高精度、高速度等先進製造技術的特征。

創新點:

1、通過CCD實現了64X64網格高精度的多點、全自動校正。目前市麵上多為(wei) 3X3或5X5精度的網格,且非自動校正。

2、可完成複雜圖形的精細刻線。設備采用固體(ti) 激光器,激光波長1064nm、532nm、355nm等,適合對導電薄膜與(yu) 鍍層進行精細刻線。

3、加工工序少,提高工作效率。該設備可以在一個(ge) 工作周期內(nei) 同時完成整個(ge) 模組的ITO和銀漿的刻蝕加工,減少了加工工序,大大提高加工產(chan) 品的生產(chan) 效率。

4、適應性強,不會(hui) 隨著產(chan) 業(ye) 發展被淘汰。隨著電子行業(ye) 的發展,、傳(chuan) 統的化學刻蝕工藝將不適用於(yu) 對石墨烯薄膜的刻蝕加工,然而激光刻蝕工藝卻是可以輕鬆完成這項工作的。

技術指標:

1、激光器:固體(ti) 激光器;

2、激光波長:1064nm、355nm、532nm;

3、激光功率: 10W/20W;

4、刻蝕線寬:<40μm;

5、刻蝕速度:1200mm/s;

6、加工範圍:550mm×550mm;

7、校正方式:64X64網格全自動校正。


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