縮小尺寸降低成本

Micro-LED已經成為(wei) 當前的熱點，關(guan) 於(yu) Micro-LED未來的發展，產(chan) 業(ye) 界目前已經達成一定的共識，即Micro-LED芯片必須進一步縮小尺寸降低成本，以尋求更廣泛的應用場景，並且在某些市場領域，芯片尺寸必須達到10µm甚至低於(yu) 5µm。而在微米級尺寸的巨量轉移領域，激光方案應該是將LED晶粒從(cong) 外延片轉移到最終驅動背板的優(you) 選方案。

（圖片來源：Coherent相幹公司）

成功實現小批量生產(chan)

由Coherent相幹公司開發的激光巨量轉移方案已經持續研發了數年，並且已成功在客戶端實現小批量生產(chan) ，同時不斷有新的合作夥(huo) 伴開始和Coherent相幹公司合作進行激光巨量轉移的測試和試生產(chan) 。

（圖片來源：Coherent相幹公司）

準確性和穩定性是關(guan) 鍵

在巨量轉移製程中，決(jue) 定產(chan) 量和良率的關(guan) 鍵是轉移的準確性和穩定性。Coherent相幹公司的激光巨量轉移係統目前可以支持最小5µm尺寸LED晶粒實現高速高精度的巨量轉移，未來的發展規劃是可以實現3µm以下LED晶粒的高速轉移，並且實現較快的轉移速度和理想的良品率，以達到可以支持大批量生產(chan) 的目標。在轉移穩定性方麵，現在Coherent相幹公司的巨量轉移方案在有效處理區域內(nei) 的晶粒轉移均勻度達到了很高的一致性，這樣對於(yu) 實現更大區域轉移提供了較大的工藝窗口。

（圖片來源：Coherent相幹公司）

（圖片來源：Coherent相幹公司）

每秒數百萬(wan) 顆芯片傳(chuan) 輸速度

對於(yu) 高分辨率顯示器，Coherent相幹公司的準分子激光係統可以在單個(ge) 激光脈衝(chong) 內(nei) 轉移大量LED晶粒，目前轉移速率已經可以達到每秒數百萬(wan) 顆芯片的傳(chuan) 輸速度。Coherent相幹公司規劃的短期目標是可以在一小時內(nei) 完成數台8K電視麵板的巨量轉移工藝。每台8K電視麵板約相當於(yu) 1億(yi) 顆RGB LED芯片，這意味著巨量轉移工藝需要在保證轉移精度和均勻度的前提下至少達到每秒千萬(wan) 顆的傳(chuan) 輸速度。這是一項充滿挑戰的工作，同時也令Micro-LED產(chan) 業(ye) 界充滿期待。