等離激元納米激光器(Surface plasmon amplification by stimulated emission of radiation, Spaser)，是一種微納尺度的新型激光器。與(yu) 傳(chuan) 統激光不同的是，作為(wei) 激光在微納光學領域的對應物，等離激元納米激光器並沒有發射光子，而是在金屬納米表麵發射由光子和等離子激元組成的複合粒子極化激元，其在從(cong) 光譜檢測、片上光源、光計算、顯微鏡到光學傳(chuan) 感器和探針等諸多納米光學領域有著廣泛的應用前景。

近期，來自清華大學寧存政教授領銜的國際科研團隊在國際著名期刊Light: Science & Applications上以Ten years of spasers and plasmonic nanolasers為(wei) 題發表綜述文章，概述了等離激元納米激光器研究的初始背景和動機，回顧了過去十年中等離激元納米激光器技術的突破性進展，如激光閾值降低、動態調製、室溫操作、電注入、等離激元納米激光器的控製和改進、等離激元納米激光器的陣列操作以及單粒子等離激元納米激光器的選定應用等等，並指出了其未來可能的研究路徑和潛在的新應用。

圖1. 2009年，首次報道了等離子納米激光器（等離激元納米激光器）。

圖源：Light: Science & Applications 9, 90 (2020).

在人類曆史發展的各種發現和發明中，60年前激光的發明尤為(wei) 重要。與(yu) 傳(chuan) 統光源相比，激光器具有能夠以相幹輻射的形式將能量集中在光學中可能的最小相空間體(ti) 積中的獨特的性能。這允許激光形成具有最小角發散的相幹光束，或將輻射聚焦到尺寸小於(yu) 半波長最小的點。激光還允許將時域中的光能集中到持續時間為(wei) 單個(ge) 光學周期的量級的、盡可能短的脈衝(chong) 中，從(cong) 而提供對持續時間為(wei) 100阿秒量級的極短周期現象的探測。

從(cong) 曆史上看，激光以其單色性、高強度和低光束發散度而著稱；然而，今天，受激發射被用作一種工具，能夠對光源提供精準的調控，以設計具有明確頻率、統計特性、偏振和空間輪廓的光場。光源的小型化一直是光子學研究的一個(ge) 永恒主題；在梅曼的第一台紅寶石激光器問世僅(jin) 僅(jin) 兩(liang) 年後，半導體(ti) 激光器就出現了，其尺寸比紅寶石激光器小好幾個(ge) 數量級。從(cong) 技術上講，半導體(ti) 激光器自然更緊湊，但隨著異質結構的出現，它們(men) 也能夠在電注入下以更低的功率（甚至在電池功率下）工作。隨著晶體(ti) 管的擴展和集成推動了微電子和計算機革命，人們(men) 長期以來認為(wei) 微電子與(yu) 光子學的集成是不可避免的。20世紀90年代，當激光器的最小尺寸最終達到波長標度時，它們(men) 仍然比晶體(ti) 管大幾個(ge) 數量級。然而，人們(men) 認識到，微納米尺度的光學諧振器可以用來控製自發輻射。從(cong) 這一範式出發，自發輻射調控成為(wei) 納米激光器領域的一個(ge) 現代研究課題。

圖2. 自2009年等離激元納米激光器首次實現以來研究人員設計的各種納米激光器總覽。

圖源：Light: Science & Applications 9, 90 (2020).

在21世紀初，光學泵浦光子晶體(ti) （PC）納米激光器的出現，使其成為(wei) 當時世界上最小的光源。其他形式的小型激光器很快從(cong) 2000年初開始，如納米線激光器。然而，減小諧振器尺寸的要求使得在電注入下生產(chan) 如此小的光子晶體(ti) 激光器變得極其困難。接近空腔的金屬接觸不可避免地會(hui) 引入散射和吸收損耗。由於(yu) 這些器件是由半導體(ti) 材料製成的薄懸浮膜製成的，因此也出現了導熱性差和機械穩定性差的並發症。同時，許多關(guan) 於(yu) 金屬波導的研究表明，限製在光的波長範圍之外的可能性。由於(yu) 這些方法引入了金屬損耗，還設計了集成增益策略來延長光的傳(chuan) 播。最後一個(ge) 進展是在2007年出現了以電介質模式或等離激元模式工作的金屬基腔，這也是有效縮小激光器物理尺寸的關(guan) 鍵。此類裝置利用金屬材料來提供任何激光器的所有要求：光學限製、反饋、電接觸和熱管理。這種方法依靠金屬來支持表麵電磁波，利用電子振蕩來促進光學約束。2003年，伯格曼和斯托克曼（David J. Bergman and Mark Stockman）首次意識到這些表麵等離激元波也可以通過受激發射放大。於(yu) 是，等離激元納米激光器的概念誕生了。由於(yu) 這種新裝置產(chan) 生相幹等離激元場的預測能力以及這種能力的潛在應用，這一實現引起了人們(men) 極大的興(xing) 趣。

10多年前，三個(ge) 團隊從(cong) 不同的角度，利用不同的方法各自獨立展示了第一台等離激元納米激光器或等離激元納米激光器（圖1）。這些等離激元納米激光器是非常緊湊的相幹光源，它們(men) 具有超快的動力學特性和廣泛的應用前景。最初的等離激元納米激光器設計是一種基於(yu) 納米殼的局域表麵等離激元（Localized Surface Plasma, LSP）等離激元納米激光器，其包含一個(ge) 金屬納米球作為(wei) 等離激元核心，並由一個(ge) 包含增益材料（通常是染料分子）的介電外殼包圍。從(cong) 那時起，其他納米殼局域表麵等離激元等離激元納米激光器相繼被報道出現。這種散斑發生器是迄今為(wei) 止生產(chan) 的最小的相幹發生器，其尺寸約為(wei) 幾到幾十納米。另一方麵，最初被稱為(wei) 等離激元納米激光器的器件基於(yu) 半導體(ti) -金屬等離激元間隙模式，表麵等離激元激元（SPP）模式在其中一個(ge) 維度傳(chuan) 播。就工作中的物理原理而言，這些等離激元激元納米激光器與(yu) 等離激元納米激光器相同，唯一的區別在於(yu) 是否涉及局部化或傳(chuan) 播等離激元激元模式。因此，在本文中，作者並沒有區分表麵等離激元納米激光器和局域表麵等離激元等離激元納米激光器者，本文中可以互換使用這兩(liang) 個(ge) 術語。後來，這種納米激光器（或表麵等離激元納米激光器）得到了廣泛的發展和完善。還有一些局域表麵等離激元納米功率放大器在設計上與(yu) 等離激元激元納米激光器相似，但都是真正的尺寸都在納米尺度上的納米功率放大器。這種等離激元納米激光器由半導體(ti) 納米棒組成。作為(wei) 沉積在等離激元金屬單晶納米薄膜上的增益材料，這些散斑具有非常低的閾值，並且已經通過改變半導體(ti) 成分，同時保持幾何結構不變，是的其波長包含了整個(ge) 可見光譜。量子點增益介質也證明了類似的表麵等離激元納米激光器。過去十年取得的巨大進步導致了從(cong) 最初的概念驗證演示到各種等離激元納米激光設計（如圖2）的快速發展，包括針對特定應用的更現實的設備。例如，等離激元納米激光器的固有能力表明其在光互連、近場光譜和傳(chuan) 感、生物係統光學探測以及通過近場本征模工程實現遠場波束合成方麵的巨大應用潛力。盡管等離激元納米激光器關(guan) 鍵的設計問題目前對研究界仍然是一大挑戰，但在增益材料和等離激元材料、人工智能（AI）驅動的優(you) 化設計和製造方麵，也存在前所未有的新進展機會(hui) ，這些新進展將使新的、極其緊湊的等離激元納米激光器納米激光具有超快的運行速度。

圖3. 真實等離激元納米激光器幾何結構和組成及其作用原理的概念示意圖。

圖源：Light: Science & Applications 9, 90 (2020).

這篇綜述文章提供了近十年來等離激元納米激光研究的曆史概況。這篇綜述綜述從(cong) 盡可能縮小激光器尺寸的角度出發，探討等離激元納米激光器和等離激元納米激光器的未來潛在研究方向。例如，納米激光器自然可以對自發和受激發射過程提供最高程度的控製。並討論了如下一些有趣的問題：如果我們(men) 能夠有效地將自發輻射控製到單一模式，那麽(me) 這樣的LED在不超過閾值的情況下就足以產(chan) 生激光嗎？納米激光器到底能有多小？是否需要最小的納米激光器，或者是否有一個(ge) 最佳的長度尺度，以確保其他如能源效率和信噪比等屬性滿足基本的應用要求？

等離激元納米激光器的未來展望

終極小型化

等離激元納米激光器最吸引人的一個(ge) 方麵是它們(men) 提供了顯著的尺寸縮減，遠遠超出了純介質或半導體(ti) 激光器結構的可能。這種激光器代表了第一次有機會(hui) 最終製造出尺寸與(yu) 電子設備兼容的激光器。最初實現的等離激元納米激光器直徑約為(wei) 40 nm。這種等離激元納米激光器通常在溶液中製備，非常適合用於(yu) 基於(yu) 溶液的傳(chuan) 感和檢測。對於(yu) 集成光電芯片中信息傳(chuan) 輸的其他應用，需要在固體(ti) 襯底上製造器件，並在電注入下操作。這種器件通常要大得多，特別是對於(yu) 包含電注入結構的矩形器件。在室溫下以連續波模式工作的器件，其尺寸在真空中為(wei) 波長量級。設計和模擬研究表明，基於(yu) 傳(chuan) 統III–V半導體(ti) 和製造技術的多層結構可以使表麵等離激元激光器在真空中的波長減小到萬(wan) 分之一。這種設計可以使用傳(chuan) 統的半導體(ti) 晶片結合膜轉移技術來實現，正如最近所證明的。最近的兩(liang) 個(ge) 實驗證明了單發射器與(yu) 等離激元蝴蝶結結構或金屬球體(ti) 與(yu) 表麵之間的有效耦合，提出了一個(ge) 關(guan) 於(yu) 激光器最終尺寸的有趣問題。在這兩(liang) 種情況下，觀察到強耦合和表麵等離激元，拉比分裂高達300 meV。這將是非常有趣的，看看這樣的結構是否可以被驅動到激光領域，從(cong) 而代表激光器的最終尺寸小型化。在電注入條件下，此類設備的室溫運行將更加令人興(xing) 奮，但目前可能麵臨(lin) 重大挑戰。

光子凝聚體(ti) 的小型化

為(wei) 了降低閾值和功耗，非常需要具有少量光學模式的小型設備。在這些條件下，自發和受激發射僅(jin) 限於(yu) 與(yu) 增益材料強耦合的一小部分模式。如前所述，在強耦合的情況下，這可能導致光和物質的混合狀態，稱為(wei) 極化。由於(yu) 這些雜化激子態之間相互作用強烈，它們(men) 可以達到接近熱平衡的條件；因此，在受激散射下，極化子可能會(hui) 凝聚，類似於(yu) 玻色-愛因斯坦凝聚（BEC）的形成。受激發射過程中熱平衡的出現使得對光學模式的控製達到了額外的程度。

納米LED與(yu) 自發輻射調控

傳(chuan) 統的宏觀光學腔若要與(yu) 不需要的模式隔離，就需要所需光學模式的受激發射。事實上，對於(yu) 大於(yu) 光波長的激光器，這是實現這種模式控製的唯一方法，因為(wei) 所有模式幾乎平等地共享自發輻射。然而，納米空腔可以利用Purcell效應，完全改變自發輻射在模式之間的均勻分布。事實上，這是納米空腔實現β→ 1的方法.這就提出了一個(ge) 問題，即是否需要受激發射。有些人可能會(hui) 認為(wei) 激光比LED快，但普賽爾效應也改善了這種情況。事實上，從(cong) 能量轉換的角度來看，納米LED可能和納米激光器一樣有效。然而，納米LED和納米激光器仍將具有不同的光子統計和噪聲特性。對於(yu) 噪聲不是問題的應用，納米LED可能就足夠了。納米LED的另一個(ge) 問題可能是由於(yu) 增益材料的低激發水平而限製發射功率。

基於(yu) 等離激元納米激光器的互連

最後，等離激元納米激光器最有希望的應用之一是其在片上光互連中的新用途，這超出了傳(chuan) 統光互連的討論。該擬議應用尚未通過實驗證明，可以解決(jue) 電子信息處理中最重要的問題：處理器的有限時鍾速率（實際上，不超過幾GHz）和高發熱。這兩(liang) 個(ge) 缺點都源自相同的基礎物理：處理器芯片上晶體(ti) 管之間的耦合是靜電的。當一個(ge) 晶體(ti) 管倒轉其狀態時，互連必須由單個(ge) 晶體(ti) 管的電流重新充電，這需要很長時間，並釋放靜電能作為(wei) 熱量。然而，基於(yu) 使用表麵等離激元將信號從(cong) 一個(ge) 晶體(ti) 管傳(chuan) 輸到另一個(ge) 晶體(ti) 管，已經形成了一個(ge) 根本不同的原理。在這種情況下，發射晶體(ti) 管電泵送與(yu) 晶體(ti) 管大小相同~10 nm的等離激元納米激光器。等離激元納米激光器由表麵等離激元波導加載（為(wei) 此，可采用與(yu) 當前電氣互連相同類型的銅互連）。另一方麵，表麵等離激元脈衝(chong) 通過鍺納米晶體(ti) 轉換為(wei) 電荷，並饋送至接收晶體(ti) 管。目前已經有研究表明，單個(ge) 納米級晶體(ti) 管可以產(chan) 生足夠的驅動電流來電泵送等離激元納米激光器。因此，等離激元納米激光器介導的表麵等離激元互連原理基本上是現實的，並且確實非常有前景。

圖4. 等離激元納米激光器與(yu) 光子晶體(ti) 納米激光器的比較。(a)總共測量了170個(ge) 等離激元納米激光器（頂部）和光子納米激光器（底部）進行比較，每個(ge) 都具有相同的增益材料和腔反饋機製。等離激元納米激光器與(yu) 光子晶體(ti) 納米激光器（b）腔尺寸、（c）自發輻射壽命、（d）閾值和（e）功耗的比較。這些比較表明，當腔尺寸接近或超過衍射極限時，等離激元激光器可以比光子納米激光器更緊湊、速度更快、功耗更低。

圖源：Light: Science & Applications 9, 90 (2020).

總結

在本文中，論文介紹了等離激元納米激光器自2003年第一次實驗實現以來，過去10多年來等離激元納米激光器領域的發展曆程。論文首先簡要介紹了激光小型化的曆史概況，隨後總結了等離激元納米激光器者基本特性。接著概述了小型激光器的物理和其發展背後的技術驅動因素，比如人們(men) 在開發納米級相幹源、控製和降低激光閾值、加速激光用於(yu) 信息傳(chuan) 輸的時間動力學以及損耗-增益權衡方麵的研究和進展。最後，文章列舉(ju) 了在過去10年中，在開發等離激元納米激光器和納米激光器方麵取得的具有代表性的重大進展，重點介紹了持續閾值降低、電注入操作、提高操作溫度、提高量子效率、最初開發的單粒子散斑器性能的進步、等離激元發射器陣列操作的能力以及多物理建模和仿真。

正如這篇綜述所說，實現這些目標和解決(jue) 這些等離激元納米激光器基本問題的未來研究將進一步加深我們(men) 對光子、等離激元激元和物質之間相互作用物理的全麵理解，並拓寬等離激元激元納米激光器和等離激元納米激光器的應用，最終將會(hui) 大大加快下一代芯片（光子芯片）和微納光學傳(chuan) 感器的落地。

參考文獻

Shaimaa I. Azzam, Alexander V. Kildishev, Ren-Min Ma, Cun-Zheng Ning, Rupert Oulton, Vladimir M. Shalaev, Mark I. Stockman, Jia-Lu Xu and Xiang Zhang, “Ten years of Spasers and plasmonic nanolasers”, Light: Science & Applications 9, 90 (2020).