在位於(yu) 日照高新區的山東(dong) 興(xing) 華半導體(ti) 有限責任公司(以下簡稱“興(xing) 華半導體(ti) ”)晶圓生產(chan) 車間內(nei) ,氧化、光刻、刻蝕、離子注入等各條生產(chan) 線運行有條不紊。
“生產(chan) 車間正處於(yu) 產(chan) 能提升階段,目前晶圓月產(chan) 量達2萬(wan) 片,出片率和單片良率均處於(yu) 行業(ye) 領先水平。”興(xing) 華半導體(ti) 總經理顏烈藝說。晶圓製造是整個(ge) 芯片產(chan) 業(ye) 鏈的關(guan) 鍵一環,興(xing) 華半導體(ti) 主要致力於(yu) 晶圓製造、芯片研發和生產(chan) ,預計今年產(chan) 值可達5560萬(wan) 元。
作為(wei) 光子學與(yu) 電子學的交集領域,近年來,光電產(chan) 業(ye) 開啟高速增長模式。2022年,中國光電產(chan) 業(ye) 市場規模約3000億(yi) 元,預計到2025年將達到3500億(yi) 元。隨著數字化技術在各行各業(ye) 迅猛發展,山東(dong) 各地的光電產(chan) 業(ye) 也乘勢而上,信息光電、激光加工、激光全息、光電傳(chuan) 感等產(chan) 業(ye) 技術日益成熟,多地加快建設產(chan) 業(ye) 園區,以集群之勢推動產(chan) 業(ye) 高質量發展。
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在位於(yu) 棗莊的東(dong) 方光源集團智光通信產(chan) 業(ye) 園三期項目現場,鱗次櫛比的廠房在秋日陽光下格外耀眼。生產(chan) 車間內(nei) ,工人們(men) 正忙著調試各種生產(chan) 設備。“接下來進行生產(chan) 工藝調試,預計年底投產(chan) 。”華光科技光芯棒生產(chan) 基地總經理王檣說。總投資30億(yi) 元的智光通信產(chan) 業(ye) 園項目分三期建設,三期項目主產(chan) 智能光網絡用特種光纜及光芯棒。
光纖是信息產(chan) 業(ye) 的重要傳(chuan) 輸載體(ti) ,而光纖90%以上的性能由光纖預製棒決(jue) 定。東(dong) 方光源集團作為(wei) 棗莊通信產(chan) 業(ye) 的領軍(jun) 企業(ye) ,擁有光纖、光纜產(chan) 業(ye) 製造基地,但在產(chan) 業(ye) 鏈上遊光纖預製棒製造環節上一直存在缺失。為(wei) 彌補這一短板,東(dong) 方光源集團采用具有自主知識產(chan) 權的新型工藝,與(yu) 通鼎互聯信息股份有限公司合作建設華光科技光芯棒項目,可實現年產(chan) 光芯棒400噸。
“產(chan) 業(ye) 園建成後,東(dong) 方光源將成為(wei) 集光纖預製棒、光纖、光纜等相關(guan) 產(chan) 品研發、生產(chan) 為(wei) 一體(ti) 的全產(chan) 業(ye) 鏈企業(ye) 。”東(dong) 方光源集團董事長張坤說,三期項目中的特種光纜產(chan) 品為(wei) 5G量身定製,廣泛應用於(yu) 通信、航天、化工、石油等領域。
當前,棗莊高新區把光電產(chan) 業(ye) 作為(wei) 園區“鋰光醫智大”產(chan) 業(ye) 集群的重要組成部分,產(chan) 品類型從(cong) 傳(chuan) 統的石英光纖光纜、光通信器件逐步擴展到光通信、光顯示、光存儲(chu) 等領域,“纖芯網屏端”光電信息產(chan) 業(ye) 鏈不斷補強,線纜全產(chan) 業(ye) 鏈示範效應、光電特色產(chan) 業(ye) 集群式發展已初步形成。目前,全區現有規模以上光電類工業(ye) 企業(ye) 8家,1—8月光電產(chan) 業(ye) 鏈營收10.24億(yi) 元,同比增長45.54%。
光電產(chan) 業(ye) 作為(wei) 現代產(chan) 業(ye) 體(ti) 係的“關(guan) 鍵少數”,是新一輪科技革命的必爭(zheng) 之域。位於(yu) 淄博高新區齊魯智能微係統創新產(chan) 業(ye) 基地的山東(dong) 申華光學科技有限公司,專(zhuan) 注於(yu) 铌酸鋰薄膜技術及其潛在的集成光子學係統的創新研發。“傳(chuan) 統的體(ti) 材料铌酸鋰晶體(ti) 光學器件往往尺寸比較大,難以滿足光學器件趨於(yu) 小型化、集成化的需求。我們(men) 通過‘離子切片’的方式,從(cong) 塊狀的铌酸鋰晶體(ti) 上剝離出铌酸鋰薄膜,並鍵合到附有二氧化矽緩衝(chong) 層的矽晶片上,形成薄膜铌酸鋰材料。”公司總經理李誌華拿起一個(ge) 小小的芯片向記者展示。
山東(dong) 申華光學科技有限公司主要從(cong) 事光學元器件的設計、研發和生產(chan) 。“薄膜铌酸鋰製備原先存在晶體(ti) 損傷(shang) 、粗糙度大、以及成本高等痛點,我們(men) 的CMP(化學機械拋光)法不僅(jin) 可以使晶體(ti) 不受損傷(shang) ,降低薄膜表麵粗糙度,而且工藝簡單,有效降低了製備成本。”目前,該公司已成功實現納米級厚度薄膜铌酸鋰CMP法直接製備。
今年以來,淄博市光電子產(chan) 業(ye) 鏈“四上”企業(ye) 營業(ye) 收入同比增長32.8%,已形成以光通信為(wei) 標誌,涵蓋光學晶體(ti) 、新型顯示、智能終端、集成電路等多領域的特色產(chan) 業(ye) 。目前,淄博高新區正展開細分產(chan) 業(ye) 鏈重點企業(ye) 調研,結合光電子產(chan) 業(ye) 鏈上中下遊發展實際,梳理出一批具有較強係統集成能力、較高市場占有份額、重要產(chan) 業(ye) 拉動作用的企業(ye) 作為(wei) 鏈主企業(ye) ,支持鏈主企業(ye) 做優(you) 做大,將光電子產(chan) 業(ye) 鏈的招商重點向微波通信、光纖傳(chuan) 感等領域傾(qing) 斜,聚力打造光電子產(chan) 業(ye) 發展高地。
作為(wei) 山東(dong) 省推動智能傳(chuan) 感器產(chan) 業(ye) 發展行動計劃兩(liang) 大重點建設項目之一的煙台光電傳(chuan) 感產(chan) 業(ye) 園,同樣聚焦壯大產(chan) 業(ye) 鏈。
該園區以全國首批、全省首家科創板上市企業(ye) 睿創微納為(wei) 龍頭,建設光電傳(chuan) 感全產(chan) 業(ye) 鏈創新孵化園區,重點培育聚集紅外傳(chuan) 感器、器件、模組、終端整機等光電產(chan) 業(ye) 上下遊企業(ye) 和項目。據介紹,未來五年,產(chan) 業(ye) 園將聚集上下遊企業(ye) 150家以上,十年達到400家以上,年產(chan) 值突破700億(yi) 元。
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