10月17日消息,國家知識產(chan) 權局信息顯示,蘇州鐳明激光科技有限公司取得一項名為(wei) “劈裂裝置”的專(zhuan) 利,授權公告號CN 221841803 U,申請日期為(wei) 2023年12月。
專(zhuan) 利摘要顯示,本實用新型公開了一種劈裂裝置,包括:承載機構,包括容置晶圓結構的承載台和對晶圓結構的周側(ce) 進行抵持定位的限位組件,限位組件數量有多個(ge) ,且沿著晶圓結構的周側(ce) 均勻分布;劈裂機構,包括位於(yu) 承載台上方的劈裂刀組和位於(yu) 承載台下方的下劈裂刀,劈裂刀組包括第一上劈裂刀和第二上劈裂刀,下劈裂刀位於(yu) 第一上劈裂刀和第二上劈裂刀之間;升降機構,與(yu) 劈裂刀組傳(chuan) 動連接,且適於(yu) 驅動劈裂刀組沿著豎直方向靠近或遠離承載機構;其中,劈裂刀組朝向晶圓結構的其中一麵,承載台沿豎直方向貫通有內(nei) 孔,下劈裂刀經內(nei) 孔支撐晶圓結構的另一麵。本實用新型采用上述結構,能夠有效提高晶圓結構的劈裂效率和劈裂精度。
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