7月3日，諾發公司宣布其已向旭瑞光電公司提供了一台VECTOR（R）型等離子增強化學氣相沉積（PECVD）設備。旭瑞光電是一家位於(yu) 佛山的合資公司，其股東(dong) 之一是世界領先的高亮度LED生產(chan) 企業(ye) ——美國旭明公司（SemiLEDs  Corporation ）。這台新的VECTOR將被安裝在佛山旭瑞光電的生產(chan) 車間裏，用於(yu) 生產(chan) 金屬基垂直結構高效LED。 

　　每晶片成本和每流明成本是驅動主流照明市場接受LED技術的關(guan) 鍵因素。現有LED製造技術，主要是基於(yu) 2—4英寸不同直徑的藍寶石襯底進行外延生長，這種方法本身生產(chan) 效率低、能量消耗大，製備一片2英寸藍寶石襯底LED，平均消耗的電能高達200kWh。

　　與(yu) 傳(chuan) 統LED鍍膜設備相比，VECTOR係統在行業(ye) 處於(yu) 領先地位，因為(wei) 它擁有寬的工藝窗口和高產(chan) 能，使LED的每晶片成本得以下降。VECTOR LED鍍膜係統中有一個(ge) 多晶片載體(ti) 裝置，能夠放置2、3、4、6、8和12英寸的不同尺寸晶片，產(chan) 能巨大，且沉積的各尺寸薄膜質量和均勻性都很好，此外，VECTOR LED係統是在較低溫度下沉積薄膜，這與(yu) 傳(chuan) 統LED用PECVD設備相比，生產(chan) 過程易於(yu) 控製且高效節能。

　　“這種新型VECTOR LED鍍膜係統是LED芯片製造產(chan) 業(ye) 中最具生產(chan) 力的PECVD係統” 諾發電介質和PECVD事業(ye) 部高級副總裁兼總經理Mr. Sesha Varadarajan表示，“我們(men) 非常高興(xing) VECTOR LED係統，包括我們(men) 的光阻去除、物理氣相沉積、電鍍以及晶片拋光和減薄係統解決(jue) 方案，能夠進入旭瑞光電現有的LED芯片生產(chan) 線中”。

　　“我們(men) 一直在努力提高產(chan) 能和能效，所以我們(men) 佛山旭瑞的工廠裏采用VECTOR LED係統”旭瑞光電公司總經理Mr. Marco Mora說，“諾發公司在中國的基礎架構和服務能力，讓我們(men) 相信，選擇諾發作為(wei) 旭瑞光電的供應商是非常明智的。”