典型的MEMS光開關(guan) 器件可分為(wei) 二維和三維結構。二維MEMS的空間旋轉鏡通過表麵微機械製造技術單片集成在矽基底上，準直光通過微鏡的適當旋轉被接到適當的輸出端。微鉸鏈把微鏡鉸接在矽基底上，微鏡兩(liang) 邊有兩(liang) 個(ge) 推杆，推杆一端連接微鏡鉸接點，另一端連接可平移梳妝電極。轉換狀態通過調節梳妝電極使微鏡發生轉動，當微鏡為(wei) 水平時，可使光束從(cong) 該微鏡上麵通過，當微鏡旋轉到與(yu) 矽基底垂直時，MEMS光開關(guan) 將反射入射到它表麵的光束，從(cong) 而使該光束從(cong) 該微鏡對應的輸出端口輸出。三維MEMS的鏡麵能向任何方向偏轉，這些陣列通常是成對出現，輸入光線到達第一個(ge) 陣列鏡麵上被反射到第二個(ge) 陣列的鏡麵上，然後光線被反射到輸出端口。
      在多種可能的驅動方法中，靜電和磁感應法為(wei) 主選方案。靜電法依賴於(yu) 電荷極性相反的機械元素之間的相互吸引，這是MEMS技術中使用的主要的驅動方法，MEMS光開關(guan) 具有可重複性和容易屏蔽等優(you) 點。磁感應驅動依賴於(yu) 磁體(ti) 或者電磁體(ti) 之間的相互吸引。盡管磁感應驅動能夠產(chan) 生更大的驅動力並具有較高的線性度，但由於(yu) 磁感應應用中還有許多問題有待於(yu) 解決(jue) ，所以目前靜電驅動方案仍然是可靠設備的最佳選擇。