一切以氣體(ti) 或蒸汽作為(wei) 激光工作物質的激光氣，統稱為(wei) 氣體(ti) 激光氣。這是目前種類最多、發展最快應用最廣的一類激光器。通常可以把氣體(ti) 激光器劃分為(wei) 原於(yu) 氣體(ti) 激光器、離子氣體(ti) 激光器、分子激光器和準分子激光器、氣體(ti) 激光器的激勵方式很多，通常采用氣體(ti) 放電激勵，此外還可采用電子束激勵、氣動式激勵、化學激勵、光激勵和核動激勵等。氣體(ti) 激光器與(yu) 液體(ti) 激光器、固體(ti) 激光器和半導體(ti) 激光器一樣，已經實現了實用化。它已廣泛用於(yu) 工農(nong) 業(ye) 生產(chan) 、科學研究、國防建設和醫療衛生等領域。氣體(ti) 激光器的重要特點之一，激光工作物質是混合氣或單一純氣體(ti) 。由於(yu) 激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體(ti) 中氧、

 水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡（麵）和電極上的耗損，還會(hui) 引起激光發射的不穩定。因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行幹燥處理，防止汙染混合氣。如果將氦（He）氖（Ne）激光作為(wei) 第一代氣體(ti) 激光，二氧化碳激光是第二代氣體(ti) 激光，在半導體(ti) 製造領域將大量使用的氟化氪（KrF）激光，可稱為(wei) 第三代激光。

常見的激光混合氣的組成和主要用途：

類別 混合氣組成/（10-2） 用途 H2 Ne #p#分頁標題#e# Ar N2 CO2 Kr F Xe CO HCl 平衡氣 氦氖激光 混合氣   2-8.3  #p#分頁標題#e#               He 用於(yu) 工業(ye) 生產(chan) ，科學研究和國防建設等領域 CO2激光 混合氣 0.4    #p#分頁標題#e#   13.5 13.0 8.0 6.0 16.0 8-12 4.5 7.0 8.0 8.0 16.0 6-8     2.0 4.0 2.0 4.0     主要用於(yu) 激光加工，如金屬、陶瓷的切割、焊接與(yu) 鑽孔以及醫療上的激光外科等 氪氟激光 混合氣    #p#分頁標題#e#       5.0 10.0 1-0.2         用於(yu) 保護膜導光以及化學反應等領域。貯存器製造中的石板印刷已開始使用氟化氪激光 密封束 激光氣    #p#分頁標題#e#   18.5       3 2.5     作研究用的密封束激光氣 準分子 激光氣   25.8 #p#分頁標題#e# 9.8 0.004     1 5 0.2     5.0 Ar He He Ar 準分子激光器用於(yu) 醫療上的外科手術