相關(guan) 產(chan) 品：

    在準分子激光器全球的醫療、半導體(ti) 、光纖、平板顯示、材料研究等高端行業(ye) 得到廣泛的應用，但作為(wei) 專(zhuan) 業(ye) 的的重要廠商，我們(men) 同時也發現在準分子激光器的使用上，還存在著一些隱憂，筆者想通過這篇文章，以引起相關(guan) 操作人員的重視。

準分子激光氣體(ti) 的主要成分：

氟化氬（ArF)  193 nm ：F₂、Ar、He、Ne；

氟化氪（KrF)  248 nm ：F₂、Ar、He、Ne；

氯化氙（XeCl）308 nm ：HCl、H₂、Xe、Ne

氟化氙（XeF） 351 nm：F#p#分頁標題#e#₂、Xe、He、Ne

   顯而易見，準分子激光氣體(ti) 成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是無色、無味、無毒、不可燃的惰性稀有氣體(ti) ，除非大量釋放到密閉空間會(hui) 引起窒息外，對人體(ti) 的危害是有限的，排除惰性稀有氣體(ti) 的危害最主要的做法還是通風，增強室內(nei) 空氣的對流。

   除了稀有氣體(ti) 之外，準分子激光氣中的F₂是我們(men) 采取防範措施的重中之重。很多情況下，準分子激光氣體(ti) 都是以預混的形式進行供應，這些預混氣的F₂濃度都在1%以下，但足以對人體(ti) 健康構成威脅，尤其是一些工業(ye) 和科研應用的準分子激光氣，使用的是5%F₂+95%He，這類型的氣體(ti) 對人體(ti) 的危害更為(wei) 嚴(yan) 重。

   氟氣，化學式F₂，是一種淡黃色、極具腐蝕性的雙原子分子氣體(ti) ，密度（標準狀態下）：1.554kg/m³ 比空氣大。有特殊氣味，吸入感覺幹燥。

物質狀態：#p#分頁標題#e#	氣體(ti)	形狀：	透明氣體(ti)
		氣味：	辛辣、臭味
顏色：	透明無色	沸點/沸點範圍：	-185.9°C
PH值：#p#分頁標題#e#	N/A	閃火點：	無
分解溫度：	無	測試方法：	○開杯      ○閉杯
自燃溫度：	無	爆炸界限：	爆炸下限(LEL) / 爆炸上限(UEL)：…/…#p#分頁標題#e#
蒸氣壓：	756.4 psig	蒸氣密度：	1.312   (空氣=1)
密度：	0.098 lb./ft3 (1.57 kg/m3)@ 21.1°C	溶解度：	完全互溶

　理化性質#p#分頁標題#e#

　  化學分子式：               F₂

    分子量：                   37.9968

　　熔點(101.325kPa)：          -219.62℃

　　沸點(101.325kPa)：          -188.1℃

　　液體(ti) 密度(-188.1℃，S.P.)：    1507kg/m³

　　氣體(ti) 密度(25℃，101.325kPa)： 1.554kg/m³

　　相對密度(氣體(ti) ，空氣=1#p#分頁標題#e#，25℃，101.325kPa)：1.312

　　比容(21.1℃，101.325kPa)：   0.6367m³/kg

　　臨(lin) 界溫度：                 -128.8℃

　　臨(lin) 界壓力：                 5215kPa

　　臨(lin) 界密度：                 574 kg/m³

　　熔化熱(-219.67℃，0.252kPa)： 13.44 KJ/kg

　　氣化熱(-188.2℃，101.325kPa)： 175.51 KJ/Kg

　　比熱容(氣體(ti) ，#p#分頁標題#e#21.1℃，101.325kPa)： Cp=827.67J/(mol.K)

　　                                 Cv=609.65J/(mol.K)

　比熱比(氣體(ti) ，21.1℃，101.325kPa)：Cp/Cv=1.358

　　蒸氣壓(53.56K)：               0.223kPa

　　      (77.17K)：              37.383kPa

　　      (89.40K)：              162.638kPa

　　粘度(氣體(ti) ，0℃，101.325kPa)：#p#分頁標題#e#   0.02180mPa.s

　　(液體(ti) ，-192.2℃)：              0.275mPa.S

　　表麵張力(-193.2℃)：            14.81mN/m

　　導熱係數(氣體(ti) ，0℃，101.325kPa)：0.024769W/(mol.K)

　　(液體(ti) ，-188.1℃)：               0.159W/(mol.K)

　　折射率(氣體(ti) ，25℃，101.325kPa)： 1.000187 #p#分頁標題#e#

　　(液體(ti) ，-188.1℃)：               1.2

　　毒性級別：                      4

　　易燃性級別：                    0

　　易爆性級別：                    3

　　火災危險度：                    極大

   氟是電負度最強的元素，也是很強的氧化劑。在常溫下，氟幾乎能和所有的元素化合，並產(chan) 生大量的熱能，在所有元素中，氟是最活潑的。在－188℃以下，凝成黃色的液體(ti) ，在-223℃變成黃色結晶體(ti) 。由於(yu) 氟的強化學特性，單質氟在自然界基本不存在，而主要以化合物的形式存在，其中最重要的化合物是氟化鈣（CaF₂），俗稱螢石或氟石。由於(yu) 原子能工業(ye) 的發展，提煉核燃料必須使用單質氟，才使得氟氣發展得到大規模的工業(ye) 生產(chan) 。氟氣在現代工業(ye) 中，特別是核工業(ye) 、電氣和化工行業(ye) 等部門有著十分重要的用途。

毒性#p#分頁標題#e#

　　人吸入TCLo：25ppm，5分鍾，對眼有刺激性

　　最高容許濃度：0.1 ppm (0.2mg/m³)

　　氟是劇毒性氣體(ti) ，能刺激眼、皮膚、呼吸道粘膜。由於(yu) 它立即與(yu) 水反應生成氟化氫HF，所以在大多數情況下顯出與(yu) 氟化氫同樣的毒性。輕微吸入會(hui) 影響肺、鼻、喉嚨等呼吸道黏膜，導致咳嗽及呼吸困難，過度吸入有可能產(chan) 生組織破壞或肺水腫。

　　當氟濃度為(wei) 5～10ppm時，對眼、鼻、咽喉等粘膜開始有刺激作用，作用時間長時也可引起肺水腫。與(yu) 皮膚接觸可引起毛發的燃燒，接觸部位凝固性壞死、上皮組織碳化等。慢性接觸可引起骨硬化症和韌帶鈣化。氟物質會(hui) 與(yu) 水或空氣中之濕氣反應成氟化氫或氫氟酸，如果超過20%氟化氫或氫氟酸汙染致人體(ti) 可能導致血鈣過少。吸入氟的患者應立即轉移至無汙染的安全地方安置休息，並保持溫暖舒適。眼睛或皮膚受刺激時迅速用水衝(chong) 洗之後就醫診治。氟物質亦會(hui) 與(yu) 水或空氣中之濕氣反應成氟化氫或氫氟酸。水中生物部分，如混合氣體(ti) 大量的在河邊或水中外泄，會(hui) 導致魚類或水中生物死亡。

安全防護

　　工作場所要通風保持空氣新鮮幹燥。要用特種鋼瓶貯裝。鋼瓶存放時必須與(yu) 其它物料隔離，特別是與(yu) 能和氟反應的物料隔絕，要遠離易起火地點。

　　著火時消防人員須在防爆掩蔽處操作，切不可將水直接噴射漏氣處，否則會(hui) 助長火勢。滅火可用二氧化碳、幹粉、砂土、廢氣可用水吸收。

個(ge) 人防護設備：#p#分頁標題#e#	呼吸防護：當氟物質超過暴露標準，或是緊急處理程序時，必須使用呼吸防護具。 眼部：頭盔附護目鏡 (不可戴隱形眼鏡) 手套：橡膠手套 其它：全套防化學汙染之衣物
衛生措施：	使用時禁止吸煙或進食，並需注意環境整潔及個(ge) 人衛生。

安全與(yu) 運輸

　　氟氣是一種毒性極高的強腐蝕性氣體(ti) ，在濕空氣中易形成氟化氫或二氟化氫。氟的腐蝕性突出表 現為(wei) 強烈的酸性刺激性，其性質同氟化氫相似。與(yu) 水、水蒸氣反應，產(chan) 生有毒腐蝕性煙氣，並放出熱。

　　氟氣對皮膚的灼傷(shang) 速度比氫氟酸快許多，眼睛是氟中毒的敏感部位，它對眼睛的刺激程度也大大超過 氫氟酸。呼吸到低含量的氟氣不會(hui) 產(chan) 生明顯的生理病變，但經過呼吸係統進入人體(ti) 的骨組織內(nei) ，引起化 學反應導致骨質鬆軟。氟氣屬有毒壓縮氣體(ti) ，宜儲(chu) 存於(yu) 陰涼、通風倉(cang) 內(nei) ，，並應遠離火種、熱源。氟氣應與(yu) 易燃或可燃物、金屬粉末等分開存放。

工程控製：#p#分頁標題#e#	工作場地需為(wei) 通風良好場所，建議鋼瓶放置在安全的通風處如毒氣櫃，操作時應有監控係統以降低員工暴露危險
控製參數
八小時日時量平均容許濃度 TWA		短時間時量平均容許濃度 STEL		最高容許濃度 Ceiling	生物標準 BEI(ACGIH)
0.1 ppm		2.0 ppm		10 ppm	#p#分頁標題#e#
生物指標
LD50(測試動物吸收途徑)			LC50(測試動物吸收途徑)
測試動物(   -   )吸收途徑			測試動物(185ppm)吸收途徑

生態資料                                                                                   

可能之環境影響/環境流布：氪氣、氖氣為(wei) 大氣中自然產(chan) 生之氣體(ti) 成分之一，不會(hui) 造成環境影響。在自然水中，包含了鈣及其它含堿之化學物質，與(yu) 氟物質接觸後會(hui) 產(chan) 生氟化鈣及其它的氟化鹽物質等中和現象。此外，氟物質亦會(hui) 與(yu) 水或空氣中之濕氣反應成氟化氫或氫氟酸，所有作業(ye) 操作必須以降低環境中汙染物為(wei) 目標。#p#分頁標題#e#

植物或動物影響：因為(wei) 混合氣體(ti) 中的毒性物質，動物暴露在混合氣體(ti) 下會(hui) 造持細胞組織破壞、燃燒並有可能導致死亡。植物如受到此混合氣體(ti) 汙染，可能遭致有害影響或破壞

水中生物：混合氣體(ti) 中的氟物質，會(hui) 對水中生物產(chan) 生不利的影響，如果混合氣體(ti) 大量的在河邊或水中外泄，會(hui) 導致魚類或水中生物死亡。

臭氧消耗影響：此混合氣體(ti) 的成分不為(wei) 第一級或第二級臭氧消耗的化學成分

廢棄處置方法

廢棄處置方法：以慢速通過蘇打 (碳酸鈉) 吸收過濾之