今朝SPI公司的產(chan) 物重要分為(wei) 連續光纖激光器和脈衝(chong) 光纖激光器兩(liang) 大類。連續光纖激光器
包含25~400W係列產(chan) 物,脈衝(chong) 光纖激光器包含10~40W係列產(chan) 物。連續光纖激光器重要用於(yu) 矽
片切割;脈衝(chong) 光纖激光器重要用於(yu) 矽片劃刻、打孔和打標等。
G3脈衝(chong) 激光器——與(yu) 基於(yu) Q開關(guan) 技能的光纖激光器分歧的是,SPI公司的10~40WG3(第三
代)脈衝(chong) 激光器采納主振蕩功率放大(MOPA)技能,因為(wei) 其輸入頻次是由種子光的頻次決(jue) 議的
,而種子激光的頻次可經由過程電調製的方法直接節製,是以該激光用具有連續輸入(當種子光的
輸入為(wei) 連續輸入時)和脈衝(chong) 輸入(當種子光的輸入為(wei) 脈衝(chong) 輸入時)兩(liang) 種操縱形式。在脈衝(chong) 模
式下,40W脈衝(chong) 激光重視頻次範疇為(wei) 1~500kHz,峰值功率可達20kW,單脈衝(chong) 能量可達1.25mJ,
脈衝(chong) 寬度可達10nm,而且內(nei) 置25種波形可供抉擇。均勻功率、峰值功率、脈衝(chong) 頻次和脈衝(chong) 寬度
等參數可按照利用需要調解,從(cong) 而極大地拓寬了G3激光器在矽片加工範疇的利用範疇,極大地
進步了加工服從(cong) 。
R4連續激光器體(ti) 係——SPI公司的連續激光器包含25~200W風冷激連續光器和100~400W水
冷連續激光器,最大調製頻次為(wei) 100kHz,輸入功率不亂(luan) 性為(wei) ±0.5%。
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