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超快激光器

高功率皮秒/飛秒激光器開創應用新天地(三)

星之球激光 來源:激光世界2011-12-08 我要評論(0 )   

半導體(ti) 晶圓切割 目前,從(cong) 一塊矽片上分離出 計算機 芯片的最先進的方法是用金剛石鋸切割。然而薄矽片非常易碎,這回也是金剛石鋸切割所麵臨(lin) 的一大挑戰。由於(yu) 存在機械接...

  半導體(ti) 晶圓切割

    目前,從(cong) 一塊矽片上分離出計算機芯片的最先進的方法是用金剛石鋸切割。然而薄矽片非常易碎,這回也是金剛石鋸切割所麵臨(lin) 的一大挑戰。由於(yu) 存在機械接觸,晶圓在鋸割的過程中必須非常小心謹慎,以避免破壞晶圓或是在切割邊緣產(chan) 生破損。

    皮秒激光器與(yu) 高速和精密線性加工相結合,可作為(wei) 一種非接觸式工具實現比金剛石鋸更快速的晶圓切割。使用皮秒脈衝(chong) 激光器的另一個(ge) 優(you) 點是:其能實現更高的切割質量以及可以忽略的熱影響區,這樣切割邊緣將具有更高的強度,這對於(yu) 晶圓在下一個(ge) 處理步驟中保持良好的機械負荷非常重要。

 心血管支架切割

     心血管支架製造商正在試圖利用高分子材料的優(you) 勢,例如可吸收性。使用連續光纖激光器或固體(ti) 激光器實現的最先進的激光聚變切割,隻適用於(yu) 切割金屬支架,並且會(hui) 產(chan) 生融化和毛刺,這將需要昂貴的後續處理過程,同時也降低了產(chan) 量。

  選擇適當的波長、切割元件和旋轉加工,皮秒激光器能實現與(yu) 熔融切割相匹敵的切割速度,並在切割質量方麵具有明顯優(you) 勢,能將後續處理降低到最低程度,進而提高生產(chan) 量。此外,相同的皮秒激光器可用於(yu) 切割聚合物及其他非金屬支架,能實現較高的切割速度與(yu) 切割質量,使其成為(wei) 用於(yu) 醫療設備製造的一種具有潛力的切割工具(見圖4)。

 

  適當的波長、切割元件和旋轉加工,能使皮秒激光器實現高速切割,並且能獲得較高的高分子材料切割質量,這些材料是開發出來用於(yu) 心血管支架和其他醫療設備的主要材料。

  顯示器玻璃切割

  顯示器製造商正在尋找新的切割解決(jue) 方案,要求切割後玻璃的邊緣具有較高的強度。此外,顯示行業(ye) 的發展趨勢正在向超薄玻璃和化學硬化覆層玻璃發展,並且需要靈活的形狀以實現時尚設計。

  與(yu) 矽類似,玻璃是一種脆性硬質材料。最先進的顯示器玻璃切割是通過機械劃線實現的。這種方法產(chan) 生的切割邊緣通常會(hui) 有裂縫和碎屑,並且切割邊緣的強度較差,這使得邊緣打磨成為(wei) 一個(ge) 必不可少的後續步驟。打磨步驟的必要性不僅(jin) 限製了玻璃結構的靈活性,而且也限製了玻璃的厚度。

  經過多年的應用開發,皮秒激光器已經在移動顯示器的批量生產(chan) 中實現了較大突破(見圖5),不僅(jin) 切割邊緣質量有了提高,而且還實現靈活的幾何形狀。皮秒激光器已經成為(wei) 切割超薄玻璃以及硬化玻璃的一種功能強大的工具。

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