星之球激光 來源：激光網2011-12-21
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引言 傳(chuan) 統矽晶片的切割方法主要是金剛石鋸，偶爾也使用劃線折斷工藝，這種方法隻能切割直線，並且邊緣具有較嚴(yan) 重的裂痕，或者使用倍頻的鐵合金 激光器 ，這種方法和微噴...
引言
傳(chuan) 統矽晶片的切割方法主要是金剛石鋸，偶爾也使用劃線折斷工藝，這種方法隻能切割直線，並且邊緣具有較嚴(yan) 重的裂痕，或者使用倍頻的鐵合金激光器，這種方法和微噴工藝，一樣都操作昂貴，速度緩慢。最近SPI開發了一種光纖激光器切割工藝，該工藝能在較快的切割速度下，仍然具有極好的切割質量。
圖1 太陽能電池板
結果
使用200W連續光纖激光器對200μm（0.008”）厚度的多晶矽進行切割時，切割速度可達10m/min，並且可得到高度平滑的切割邊緣，沒有任何裂縫的痕跡。可以做到和側(ce) 麵平行、無任何邊緣碎裂痕跡的40微米的切口寬度。甚至在1.2mm厚度（0.005”）,切割速度也可超過1m/min。這個(ge) 比現存的所有其他矽切割技術都要快。
下表展現了光纖激光器切割矽的能力。
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