隨著光纖激光器技術的成熟和成本快速下降,傳(chuan) 統加工係統設備越來越多地轉向采用光纖激光器。因此,在去年國內(nei) 不少風投、相關(guan) 企業(ye) 紮堆進入了光纖激光器的研發與(yu) 生產(chan) ,國內(nei) 光纖激光器產(chan) 業(ye) 一時間成為(wei) 了最熱門的投資領域。
國神光電這家於(yu) 2011年初剛剛成立的新企業(ye) ,也專(zhuan) 注於(yu) 光纖激光器研發,並在2011年年底推出了適用於(yu) 半導體(ti) 、液晶顯示器等超精密切割加工的中國第一台商用化飛少光纖激光器。國神光電總經理周士安博士對光纖在線的編輯說,國內(nei) 光纖激光器的市場競爭(zheng) 太激烈了,他們(men) 選擇從(cong) 10ns以下的用於(yu) 超精密加工市場的超短脈衝(chong) 光纖激光器著手,差異化專(zhuan) 注於(yu) 小眾(zhong) 市場。
超短脈衝(chong) 光纖激光技術已有20多年的發展曆程,直到近幾年才開始在工業(ye) 界應用。主要原因在於(yu) 研發飛秒、皮秒光纖激光器需要深厚的理論知識背景(尤其是非線性光學知識)和相關(guan) 的實驗背景積累。因此,國神光電科技的研發團隊中,超過50%的研發人員來自於(yu) 積累多年激光器開發研究的外企及留學生背景,公司采取全員股份製,注重團隊的力量。
周博士介紹說選擇從(cong) 超精密加工市場入手,是因為(wei) 看到國內(nei) 光纖激光器的市場異常地熱鬧,國神光電科技還是一個(ge) 注重研發的小型企業(ye) ,通過走量不適合他們(men) ,所以聚焦於(yu) 小眾(zhong) 的市場更符合他們(men) 的現狀。雖然國內(nei) 的天大,和一些光機所已經在早些年間著手於(yu) 超短脈衝(chong) (飛秒)光纖激光器的研究,但仍處於(yu) 實驗試階段,無真正意義(yi) 上的商用。而國神光電於(yu) 2011年底推出的高功率飛秒光纖激光器,成為(wei) 中國第一台商業(ye) 化的產(chan) 品。
他舉(ju) 例說超短脈衝(chong) (飛秒)光纖激光器在芯片加工領域的應用。雖然目前激光晶圓切割技術中,紫外(UV)納秒激光器仍占據主導地位,但由於(yu) 紫外納秒激光切割時,所產(chan) 生的熱效應對晶圓產(chan) 生壓力和張力,使得切割端麵較為(wei) 粗糙,從(cong) 而降低了器件的壽命和可靠性。所以國神光電科技利用超短脈衝(chong) (飛秒)光纖激光器切割晶圓,在納秒時間內(nei) 對熱量沉積進行有效控製,並且選擇合適的工藝參數,以避免為(wei) 增加產(chan) 量提高激光重複頻率所導致的熱累積效應。從(cong) 而可以消除納秒激光脈衝(chong) 在切割區域外所產(chan) 生的熱擴散。
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