深紫外全固態激光源指輸出波長在200納米以下的固體(ti) 激光器，與(yu) 同步輻射和氣體(ti) 放電光源等現有光源相比具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相幹性。

　　中科院自上世紀90年代初開始研究深紫外非線性光學晶體(ti) 和激光技術，經過20多年努力，在國際上首次生長出可直接倍頻產(chan) 生深紫外激光非線性光學晶體(ti) ，並發明棱鏡耦合技術，率先發展出實用化的深紫外固態激光源，使中國成為(wei) 當今世界上唯一掌握深紫外全固態激光技術的國家。

　　中國科學家利用獨創、獨有的深紫外技術和深紫外激光非線性光學晶體(ti) ，已成功研製出深紫外激光拉曼光譜儀(yi) 、深紫外激光發射電子顯微鏡等8台深紫外固態激光源前沿裝備，均為(wei) 當今世界所獨有的科研利器，居深紫外領域國際領先地位。

　　總投資1.8億(yi) 元人民幣的深紫外固態激光源前沿裝備研製項目，2008年啟動實施以來進展順利，現已研製成功的8台前沿裝備還包括深紫外激光光化學反應儀(yi) 、深紫外激光光致發光光譜儀(yi) 、深紫外激光自旋分辨角分辨光電子能譜儀(yi) 、深紫外激光原位時空分辨隧道電子譜儀(yi) 、基於(yu) 飛行時間能量分析器的深紫外激光角分辨光電子能譜儀(yi) 等國際領先水平的儀(yi) 器設備，另外1台光子能量可調深紫外激光光電子能譜儀(yi) 研製工作也已基本完成，正在調試之中，多台儀(yi) 器設備已初步用於(yu) 前沿科學研究，並表現出優(you) 異的性能。

　　中科院整合麾下理化技術研究所、物理研究所、大連化學物理研究所、半導體(ti) 研究所科研資源，在財政部專(zhuan) 項資金支持下，設立深紫外固態激光源前沿裝備研製項目，設計出從(cong) “材料-器件-裝備-科學研究”完整研發體(ti) 係。在成功研製8台重大儀(yi) 器設備的同時，還搭建有深紫外非線性晶體(ti) 和器件研製平台、深紫外固態激光器研發平台和深紫外應用儀(yi) 器開發平台，核心器件深紫外晶體(ti) 及器件已實現小批量生產(chan) ，為(wei) 儀(yi) 器設備後續發展尤其是產(chan) 業(ye) 化工作奠定了基礎。

　　深紫外固態激光技術突破是中國新型科學儀(yi) 器研發的難得機遇。中科院在前期工作基礎上，正組織專(zhuan) 家進一步調研，一方麵，將研製成功的8台儀(yi) 器設備中技術成熟、具有市場潛力的發展為(wei) 商品化儀(yi) 器設備，推動中國高端科學儀(yi) 器產(chan) 業(ye) 化;另一方麵，進一步整合人才、技術力量，繼續研發新型深紫外科學儀(yi) 器和設備。