我國這幾年在電子信息產(chan) 業(ye) 方麵的發展迅速,在過去的一年裏,我國電子信息產(chan) 業(ye) 銷售額突破了十個(ge) 億(yi) ,比之前年增幅達到了百分之十五。與(yu) 此同時帶動了整個(ge) 電子特種氣體(ti) 的市場需求量。過去由於(yu) 我國在氣體(ti) 生產(chan) 、儲(chu) 存、提純方麵技術不夠完善,一些電子工業(ye) 用氣如:氨氣、四氟化碳、氯化氫都是需要依賴進口的。從(cong) 我國電子產(chan) 業(ye) 長遠發展角度出發,我國必須打破氨氣、四氟化碳、氯化氫被國外壟斷的情況。
記者在2013年5月舉(ju) 辦的特種氣體(ti) 年會(hui) 報告中了解得知,廣州市譜源氣體(ti) 有限公司宣布,經過不懈的努力,公司已經掌握了高純氨氣、高純四氟化碳、高純氯化氫的提純技術,為(wei) 電子工業(ye) 用氣的國有化做出了重要貢獻。
高純氨氣(NH3)是電子工業(ye) 中氮化膜的成膜氣體(ti) 。高純氨氣跟矽烷、高純氬氣(Ar)用於(yu) 薄膜太陽能電池的製造,也用於(yu) LED電子行業(ye) 。氨氣具有強腐蝕性和毒性,而且具有刺激性臭味,易溶於(yu) 水。目前國產(chan) 高純氨氣已經占到國內(nei) 市場需求的一大半,相信以後會(hui) 完全取代國外氣體(ti) 公司滿足中國在IC、LED、太陽能電池等領域的需求。
高純四氟化碳(CF4) ,目前四氟化碳主要應用於(yu) 微電子工業(ye) 中的等離子蝕刻,廣泛應用於(yu) 矽、二氧化矽、氮化矽、磷矽玻璃及鎢膜材料的鏽蝕。同時也應用於(yu) 電子元件的清洗。四氟化碳又叫做四氟甲烷,是一種鹵代烴。無色、無臭、不可燃,揮發性較高。是最穩定的有機化合物之一。據廣州譜源公司特氣部主管透露,目前公司可以生產(chan) 純度達99.999%的高純四氟化碳,產(chan) 量基本可以滿足珠江三角洲地區電子工業(ye) 的需求。
高純氯化氫(HCL),主要應用於(yu) 大規模集成電路單晶矽片氣相拋光,外延機座腐蝕等。氯化氫是一種無色有刺激性氣味的氣體(ti) 。易溶於(yu) 水(遇水是有強腐蝕性)。遇氰化物產(chan) 生劇毒性氣體(ti) 氰化氫。目前高純氯化氫已經可以滿足國內(nei) 市場的需求。
隨著國內(nei) 氣體(ti) 企業(ye) 對電子氣體(ti) 的重視,國內(nei) 氣體(ti) 公司在技術方麵也漸漸的追上了國外氣體(ti) 公司。湧現出了一批以廣州譜源氣體(ti) 有限公司為(wei) 代表的具有創新性和活力的氣體(ti) 公司。
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