2014年3月25日,中科院長春光機所投資公司奧普光電加工完成BZPMJ700標準平麵鏡,麵型精度PV為(wei) 0.187λ、rms為(wei) 0.018λ、power為(wei) 0.003λ,這標誌著奧普公司在大口徑平麵鏡光學加工技術上取得重大突破。
該BZPMJ700標準平麵鏡由平麵反射鏡和精密二維支撐架兩(liang) 部分組成。經過技術攻堅,已經加工出高精度麵形平麵反射鏡。直徑700mm的平麵反射鏡有效口徑範圍麵形精度達到PV=0.187λ、rms=0.018λ、power=0.003λ(λ=632.8nm),為(wei) 該所自製同尺寸平麵鏡最高精度。此項技術的突破標誌著奧普光電具備了直徑800mm以內(nei) 大口徑高精度平麵鏡加工能力,單鏡加工周期為(wei) 半年左右,加工工藝具備定型條件,並能夠延伸開發製作不同尺寸和種類的標準平麵鏡係列產(chan) 品。此項技術突破為(wei) 奧普光電創造了新的技術發展點和經濟增長點。
據悉,奧普光電也已具備了大尺寸元件的加工能力,成功加工完成了直徑580mm、直徑700mm的離軸拋物鏡,直徑1230mm的球麵鏡的加工。
Φ700mm平麵標準鏡在所檢測中心用32英寸ZYGO平麵幹涉儀(yi) 檢測
Φ700mm平麵標準鏡麵形幹涉圖及檢測數據
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