“針對光刻機等苛刻測量環境中實現多自由度幹涉測量的需求，我們(men) 提出了基於(yu) 棱鏡誤差矢量分析的單體(ti) 集成多軸幹涉儀(yi) 組件設計方法，研發出從(cong) 2軸到5軸的係列化單體(ti) 式多軸幹涉儀(yi) 組件，打破了國外企業(ye) 的壟斷和對我國的出口限製。”4日，清華大學長聘教授、精密儀(yi) 器係學術委員會(hui) 主任李岩告訴記者。

激光幹涉測量是實現超精密測控和微納尺度測量的最有效手段之一。在國家重大科技專(zhuan) 項“極大規模集成電路製造裝備及成套工藝”（02專(zhuan) 項）等項目支持下，由李岩等完成的“高測速多軸高分辨率激光幹涉測量技術與(yu) 儀(yi) 器”項目，突破一係列關(guan) 鍵技術瓶頸，形成了測量新方法、係統及儀(yi) 器。

李岩介紹，項目實現了從(cong) 幹涉儀(yi) 組件、信號探測解調到多自由度探測方案設計的全鏈條自研開發的高測速、多軸大量程、高分辨率激光幹涉測量係統。

截至目前，項目團隊所研發的光刻機用雙頻激光幹涉儀(yi) 係統，應用到我國自研光刻機工件台樣機研發過程中，累計應用50餘(yu) 台套，滿足了光刻機雙工件台樣機的精密測量需求，減輕了對國外高端幹涉儀(yi) 的依賴，降低了其產(chan) 品對我國出口限製所造成的研發風險。

李岩說，比如項目開發的亞(ya) 納米分辨率可溯源外差幹涉儀(yi) ，應用到激光多維測量係統研究與(yu) 開發的比對檢定研究中，找出了激光多維測量係統非線性誤差原因，並用專(zhuan) 門的電路加以校正，提高了相關(guan) 單位激光多維測量係統的性能，所提出的可溯源幹涉測量新方法，為(wei) 摩爾單位采用阿伏伽德羅常數重新定義(yi) 作出了貢獻。

“項目的成功，打破了外國對我國高端激光幹涉測量儀(yi) 器的限製和壟斷，為(wei) 我國高端裝備和儀(yi) 器研發提供性能穩定且不受製於(yu) 外國的測量及溯源能力，豐(feng) 富了激光幹涉測量理論與(yu) 技術，具有非常重要的技術、經濟和社會(hui) 效益。”李岩說。